| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·薄膜研究的意义 | 第8-9页 |
| ·薄膜研究的进展 | 第9-11页 |
| ·研究对象和研究重点 | 第11-12页 |
| 第二章 分子动力学方法和薄膜弛豫原子模型 | 第12-26页 |
| ·分子动力学方法 | 第12-21页 |
| ·原子运动的基本方程 | 第12-13页 |
| ·运动方程求解算法 | 第13-16页 |
| ·温度控制技术 | 第16-18页 |
| ·势函数 | 第18-21页 |
| ·模型、模拟方法和参数设置 | 第21-26页 |
| ·模型 | 第21-23页 |
| ·模拟方法 | 第23页 |
| ·参数设置 | 第23-26页 |
| 第三章 失配位错的出现厚度与温度的关系 | 第26-36页 |
| ·引言 | 第26-27页 |
| ·结果与讨论 | 第27-35页 |
| ·失配位错出现的判断 | 第27-29页 |
| ·不同温度下的体系结构对比 | 第29-32页 |
| ·不同温度下的体系能量对比 | 第32-34页 |
| ·讨论 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 失配位错的出现厚度与失配度的关系 | 第36-44页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-42页 |
| ·不同失配度大小下体系结构对比 | 第36-38页 |
| ·不同失配度大小下的体系能量对比 | 第38-41页 |
| ·讨论 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第五章 失配性质对二维晶格失配外延铝薄膜结构及位错形成的影响 | 第44-50页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·体系的结构演变和位错形成过程 | 第45-48页 |
| ·正负失配度下的体系总能量曲线 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 结论和展望 | 第50-51页 |
| ·结论 | 第50页 |
| ·展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第56页 |