| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 研究意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-11页 |
| 1.3 本文结构 | 第11-12页 |
| 第二章 氮化铝晶体PVT生长无线监控的设计原理 | 第12-24页 |
| 2.1 氮化铝晶体的PVT生长法 | 第12-13页 |
| 2.2 氮化铝晶体的生长设备 | 第13-15页 |
| 2.3 Arduino开发平台的介绍 | 第15-16页 |
| 2.4 无线监控系统的通信方式 | 第16-24页 |
| 2.4.1 Arduino控制板与PLC的串行通信 | 第17-21页 |
| 2.4.2 Wi-Fi无线通信网络 | 第21-22页 |
| 2.4.3 无线监控系统的混合式通信架构 | 第22-24页 |
| 第三章 无线监控系统的设计 | 第24-37页 |
| 3.1 无线监控系统的组成和功能 | 第24-26页 |
| 3.2 氮化铝晶体PVT生长工艺的程序化设计 | 第26-28页 |
| 3.3 无线监控系统中Arduino控制板的选型 | 第28-29页 |
| 3.4 无线监控系统中PLC的选型 | 第29-30页 |
| 3.5 Arduino控制板与PLC间通信协议指令模式的应用与整合 | 第30-34页 |
| 3.5.1 C-mode指令的特点和具体应用 | 第30-32页 |
| 3.5.2 FINS指令的特点和具体应用 | 第32-34页 |
| 3.5.3 C-mode指令和FINS指令在无线监控系统功能上的应用 | 第34页 |
| 3.6 Web服务器的实现 | 第34-37页 |
| 第四章 无线监控系统中无线监视和无线控制功能的实现 | 第37-45页 |
| 4.1 搭建系统样机 | 第37-39页 |
| 4.2 系统功能的实现方式和验证方法 | 第39-41页 |
| 4.3 无线监视功能的实现与验证 | 第41-43页 |
| 4.4 无线控制功能的实现与验证 | 第43-45页 |
| 第五章 总结与展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第50页 |
