| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 引言 | 第7-8页 |
| 1 文献综述 | 第8-20页 |
| 1.1 高纯三氯化硼国内外现状 | 第8-9页 |
| 1.2 三氯化硼 | 第9-13页 |
| 1.2.1 三氯化硼的理化性质[3] | 第9-10页 |
| 1.2.2 三氯化硼的制备 | 第10-12页 |
| 1.2.3 三氯化硼纯化技术 | 第12-13页 |
| 1.3 吸附理论及吸附剂研究 | 第13-18页 |
| 1.3.1 吸附的定义 | 第13页 |
| 1.3.2 气相吸附 | 第13-15页 |
| 1.3.3 液相吸附 | 第15页 |
| 1.3.4 改性沸石分子筛 | 第15-18页 |
| 1.4 选题背景 | 第18-19页 |
| 1.5 研究内容及技术关键 | 第19-20页 |
| 1.5.1 主要研究内容 | 第19页 |
| 1.5.2 主要技术关键 | 第19-20页 |
| 2 实验原料、设备及方法 | 第20-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第20页 |
| 2.2 实验设备及工艺流程 | 第20-22页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第20-21页 |
| 2.2.2 三氯化硼提纯工艺流程设计图 | 第21-22页 |
| 2.3 分析方法 | 第22-31页 |
| 2.3.1 纯度 | 第22-23页 |
| 2.3.2 采样方法 | 第23页 |
| 2.3.3 氧（含氩）、氮含量的测定 | 第23-27页 |
| 2.3.4 一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的测定 | 第27-29页 |
| 2.3.5 金属杂质含量的测定 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 吸附剂及工艺参数对三氯化硼中杂质脱除效果的影响 | 第32-43页 |
| 3.1 吸附剂对三氯化硼中杂质脱除效果的影响 | 第32-34页 |
| 3.1.1 活性炭 | 第32页 |
| 3.1.2 13X分子筛 | 第32-33页 |
| 3.1.3 丝光沸石分子筛 | 第33页 |
| 3.1.4 自制吸附剂 | 第33-34页 |
| 3.2 工艺参数对杂质脱除效果的影响 | 第34-39页 |
| 3.2.1 超临界气化分离BCl3中O_2、N_2杂质的研究 | 第34-36页 |
| 3.2.2 压力对吸附剂KY-05 的影响。 | 第36-37页 |
| 3.2.3 体积流量对多级常温吸附效果的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.4 水浴加热减容蒸馏和深冷抽空除低沸点杂质 | 第38-39页 |
| 3.2.5 BCl_3中固体颗粒物的脱除 | 第39页 |
| 3.3 瓶装BCl_3稳定性长期考察 | 第39-40页 |
| 3.4 再生置换的选择和考察[31] | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 结论与设想 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |
| 致谢 | 第47-49页 |
