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30CrMnTi合金表面TiN薄膜的制备与性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6页
第1章 绪论第10-26页
    1.1 前言第10-11页
    1.2 刀具表面镀层技术的发展第11-12页
    1.3 真空离子镀膜技术概述第12-15页
        1.3.1 真空镀膜技术及其分类第12-13页
        1.3.2 真空离子镀膜技术及其原理第13-14页
        1.3.3 真空离子镀膜技术的发展与应用第14-15页
    1.4 氮化钛(TiN)薄膜材料第15-16页
    1.5 真空离子镀膜性能的影响因素第16-19页
        1.5.1 工艺参数第16-18页
        1.5.2 基体性能第18-19页
        1.5.3 膜层厚度第19页
        1.5.4 其他因素第19页
    1.6 30CrMnTi合金第19-20页
    1.7 磨削强化技术第20-23页
        1.7.1 磨削强化技术概述第20-21页
        1.7.2 磨削强化技术的特点第21页
        1.7.3 磨削强化技术的发展与应用第21-22页
        1.7.4 磨削强化技术研究中的问题第22-23页
    1.8 本文研究目的和内容第23-26页
        1.8.1 研究目的第23-25页
        1.8.2 主要研究内容第25-26页
第2章 实验材料及实验方法第26-33页
    2.1 实验方案第26页
    2.2 实验材料第26-27页
    2.3 实验设备第27-29页
        2.3.1 真空离子镀膜设备第27-29页
        2.3.2 磨削强化设备第29页
    2.4 试样的制备第29-31页
    2.5 微观结构表征及测试方法第31-32页
        2.5.1 组织形貌分析第31页
        2.5.2 XRD物相分析第31页
        2.5.3 划痕测试第31页
        2.5.4 硬度测试第31-32页
        2.5.5 摩擦磨损测试第32页
    2.6 本章小结第32-33页
第3章 TiN薄膜制备工艺及性能研究第33-49页
    3.1 基体的金相分析第33-34页
        3.1.1 调质处理对金相组织变化的影响第33-34页
        3.1.2 镀膜对基体组织的影响第34页
    3.2 TiN薄膜扫描电镜分析第34-39页
        3.2.1 膜层剖面的电镜分析第35-36页
        3.2.2 TiN薄膜的表面形貌第36-39页
    3.3 TiN薄膜的能谱分析第39-40页
    3.4 TiN薄膜的XRD分析第40-42页
    3.5 显微硬度第42-43页
    3.6 耐磨性能第43-47页
        3.6.1 磨损质量第43-45页
        3.6.2 磨痕形貌第45-47页
    3.7 膜基结合力第47-48页
    3.8 本章小结第48-49页
第4章 磨削强化对TiN薄膜性能的影响第49-65页
    4.1 基体的金相分析第49页
    4.2 磨削强化试样表面的金相分析第49-52页
        4.2.1 试样表层金相组织第49-51页
        4.2.2 试样膜层边界组织第51-52页
    4.3 磨削强化试样剖面的扫描电镜分析第52-53页
    4.4 TiN薄膜的能谱分析第53-55页
    4.5 显微硬度第55-57页
        4.5.1 磨削强化对基体硬度的影响第55-56页
        4.5.2 镀膜对硬度的影响第56-57页
    4.6 耐磨性能第57-61页
        4.6.1 磨损质量第57-58页
        4.6.2 磨痕形貌第58-60页
        4.6.3 比磨损率第60-61页
    4.7 摩擦系数第61-62页
    4.8 膜基结合力第62-63页
    4.9 本章小结第63-65页
结论第65-66页
参考文献第66-71页
攻读硕士学位期间发表的论文第71-72页
致谢第72页

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