高浓度盐酸下氯硅烷残液水解液防凝研究
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-19页 |
| 1.1.1 多晶硅发展现状 | 第15页 |
| 1.1.2 国内多晶硅行业存在问题 | 第15-16页 |
| 1.1.3 氯硅烷残液的产生来源和组成 | 第16-19页 |
| 1.2 国内外氯硅烷残液的处理研究进展 | 第19-27页 |
| 1.2.1 氯硅烷残液干法回收 | 第20-22页 |
| 1.2.2 水解处理法 | 第22-26页 |
| 1.2.3 氯硅烷残液焚烧处理 | 第26-27页 |
| 1.3 二氧化硅的制备及应用 | 第27页 |
| 1.3.1 二氧化硅制备方法 | 第27页 |
| 1.3.2 二氧化硅应用范围 | 第27页 |
| 1.4 氯硅烷残液水解凝胶 | 第27-29页 |
| 1.4.1 氯硅烷中硅的性质 | 第28-29页 |
| 1.4.2 水解液聚合凝胶 | 第29页 |
| 1.5 研究内容、意义及创新点 | 第29-31页 |
| 1.5.1 研究的内容 | 第29页 |
| 1.5.2 研究的意义 | 第29-30页 |
| 1.5.3 研究的创新点 | 第30-31页 |
| 第二章 氯硅烷残液水解凝胶影响因素研究 | 第31-47页 |
| 2.1 实验材料及设施 | 第31-32页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第31页 |
| 2.1.2 实验装置 | 第31页 |
| 2.1.3 主要仪器设备 | 第31-32页 |
| 2.2 实验内容及方法 | 第32-33页 |
| 2.2.1 实验内容 | 第32-33页 |
| 2.2.2 实验方法 | 第33页 |
| 2.3 氯硅烷残液水解及凝胶判别 | 第33-36页 |
| 2.3.1 水解固液观察 | 第33-34页 |
| 2.3.2 水解反应进展 | 第34页 |
| 2.3.3 凝胶定性判别 | 第34-36页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第36-44页 |
| 2.4.1 残液加料速度对凝胶时间影响 | 第36-38页 |
| 2.4.2 盐酸浓度对凝胶时间影响 | 第38-39页 |
| 2.4.3 液相恒温温度对凝胶时间影响 | 第39-41页 |
| 2.4.4 残液量对凝胶时间影响 | 第41-43页 |
| 2.4.5 影响因素的显著性分析 | 第43-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-47页 |
| 第三章 水解体系改性研究 | 第47-61页 |
| 3.1 反应体系引入电解质的目的 | 第47页 |
| 3.2 碱金属氯化物防凝效果的研究 | 第47-50页 |
| 3.2.1 NaCl对凝胶时间的影响 | 第47-48页 |
| 3.2.2 KCl对凝胶时间的影响 | 第48-49页 |
| 3.2.3 碱金属氯化物防凝作用 | 第49-50页 |
| 3.3 碱土金属氯化物防凝效果的研究 | 第50-55页 |
| 3.3.1 MgCl_2对凝胶时间的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.2 CaCl_2对凝胶时间的影响 | 第51-52页 |
| 3.3.3 BaCl_2对凝胶时间的影响 | 第52-53页 |
| 3.3.4 碱土金属氯化物防凝作用 | 第53-55页 |
| 3.4 其他氯化物防凝效果的研究 | 第55-58页 |
| 3.4.1 NH_4Cl对凝胶时间的影响 | 第55页 |
| 3.4.2 AlCl_3对凝胶时间的影响 | 第55-56页 |
| 3.4.3 其他氯化物防凝作用 | 第56-58页 |
| 3.5 不同电解质防凝可行性及最优分析 | 第58-60页 |
| 3.5.1 电解质防凝浓度范围分析 | 第58-59页 |
| 3.5.2 防凝时长分析 | 第59-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 二氧化硅表征及特性研究 | 第61-69页 |
| 4.1 实验材料及仪器 | 第61-62页 |
| 4.1.1 实验材料 | 第61页 |
| 4.1.2 主要仪器设备 | 第61-62页 |
| 4.2 二氧化硅样品制备及粒径分析 | 第62-64页 |
| 4.3 电解质对生成二氧化硅的物相晶型 | 第64-65页 |
| 4.4 二氧化硅微观结构分析 | 第65-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 结论 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 附录A | 第81页 |
