CIGS薄膜太阳能电池窗口层以及透明导电层的制备与研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 CIGS薄膜太阳能电池概述 | 第8-10页 |
| 1.1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.1.2 CIGS薄膜太阳能电池的结构及优点 | 第9页 |
| 1.1.3 CIGS薄膜太阳能电池的发展概况 | 第9-10页 |
| 1.2 CIGS薄膜太阳能电池窗口层 | 第10-11页 |
| 1.2.1 ZnO薄膜的材料性质与结构 | 第10页 |
| 1.2.2 ZnO薄膜的制备方法及应用 | 第10-11页 |
| 1.3 CIGS薄膜太阳能电池透明导电层 | 第11页 |
| 1.4 论文研究内容及目的 | 第11-13页 |
| 第二章 实验材料与方法 | 第13-17页 |
| 2.1 实验材料及仪器 | 第13-14页 |
| 2.1.1 实验药品及靶材 | 第13页 |
| 2.1.2 实验器材 | 第13-14页 |
| 2.1.3 测试仪器 | 第14页 |
| 2.2 薄膜制备方法 | 第14-16页 |
| 2.2.1 衬底(载玻片)的清洗 | 第14-15页 |
| 2.2.2 磁控溅射仪的操作步骤以及注意事项 | 第15页 |
| 2.2.3 样品制备 | 第15-16页 |
| 2.3 薄膜性能测试方法 | 第16-17页 |
| 2.3.1 X射线衍射 | 第16页 |
| 2.3.2 SEM | 第16页 |
| 2.3.3 四探针测试仪 | 第16页 |
| 2.3.4 紫外-可见分光度计 | 第16页 |
| 2.3.5 台阶仪 | 第16-17页 |
| 第三章 ZnO窗口层的性能研究 | 第17-29页 |
| 3.1 ZnO薄膜的相结构分析 | 第17-20页 |
| 3.2 ZnO薄膜的形貌及膜厚分析 | 第20-24页 |
| 3.3 ZnO薄膜的成分分析 | 第24-27页 |
| 3.4 ZnO薄膜的光学特性分析 | 第27-28页 |
| 3.5 ZnO薄膜的电学性能测试 | 第28-29页 |
| 第四章 AZO透明导电层的性能研究 | 第29-43页 |
| 4.1 AZO薄膜的相结构分析 | 第29-32页 |
| 4.2 AZO薄膜的形貌及膜厚分析 | 第32-36页 |
| 4.3 AZO薄膜成分分析 | 第36-39页 |
| 4.4 AZO薄膜光学性能分析 | 第39-40页 |
| 4.5 AZO薄膜的电学性能分析 | 第40-41页 |
| 4.6 ZnO及AZO叠层薄膜的性能分析 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
