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多铁多态存储器件氧化物异质结界面的原子分辨电镜表征研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第12-31页
    1.1 钙钛矿复杂氧化物和多铁异质结结构第14-22页
        1.1.1 钙钛矿氧化物的晶体结构第14-15页
        1.1.2 多铁异质结器件及其应用第15-18页
        1.1.3 多铁异质结的界面结构及其物理性质第18-22页
    1.2 球差校正电镜研究异质结结构的优势第22-24页
    1.3 本论文的研究目的和主要内容第24页
    参考文献第24-31页
第二章 多态存储器件氧化物异质结界面的设计和制备工艺第31-41页
    2.1 多态存储器件异质结结构设计第31-32页
    2.2 氧化物异质结结构的制备方法第32-37页
        2.2.1 脉冲激光沉积技术(PLD)第33-34页
        2.2.2 原位反射式高能电子衍射谱第34-37页
    参考文献第37-41页
第三章 高分辨扫描透射电子显微镜表征技术第41-67页
    3.1 扫描透射电子显微镜(STEM)的构造和基本原理第41-51页
        3.1.1 STEM电镜的构造第41页
        3.1.2 成像的基本原理第41-44页
        3.1.3 限制成像分辨率的因素第44-46页
        3.1.4 球差校正技术的变革第46-49页
        3.1.5 球差校正STEM模式下电子束的形成第49-51页
    3.2 电子能量损失能谱(EELS)第51-56页
        3.2.1 与传统TEM分析技术的区别第52-53页
        3.2.2 电子能量损失能谱仪第53-55页
        3.2.3 EELS实验对样品的要求第55页
        3.2.4 EELS计算样品厚度第55-56页
    3.3 EELS数据处理第56-58页
    3.4 过渡金属氧化物ELNES与价态的关系第58-61页
    3.5 过渡金属氧化物ELNES与氧空位的关系第61页
    参考文献第61-67页
第四章 球差校正STEM对多铁异质结的高分辨率表征研究第67-88页
    4.1 LNO/PCMO/BTO/LSMO异质结结构的生长第68-69页
    4.2 SIEM和EELS实验的样品制备第69-71页
    4.3 电镜表征方法和成像参数第71页
    4.4 LNO/PCMO/BTO/LSMO异质结结构的预想界面结构与HAADF图像第71-73页
    4.5 界面组分和界面明锐度第73-77页
    4.6 界面处Mn的价态研究第77-81页
        4.6.1 Mn氧化物的白线法校准第77-78页
        4.6.2 界面Mn的EELS精细结构分析第78-80页
        4.6.3 界面O的EELS精细结构分析第80-81页
    4.7 界面电子结构研究以及其对器件性能的影响第81-83页
    本章小结第83页
    参考文献第83-88页
第五章 结论与展望第88-89页
论文发表情况第89-90页
致谢第90-91页

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