| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状与发展趋势 | 第12-20页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 本文工作 | 第20-21页 |
| 第二章 高超声速平板流动摩阻传感器载荷评估 | 第21-36页 |
| 2.1 摩阻传感器测量环境 | 第21-22页 |
| 2.2 电容式摩阻传感器敏感结构选择 | 第22-23页 |
| 2.3 摩阻传感器测量精度影响因素分析 | 第23-24页 |
| 2.3.1 移动间隙 | 第23-24页 |
| 2.3.2 平齐度 | 第24页 |
| 2.4 高超声速平板流动摩阻传感器载荷评估 | 第24-28页 |
| 2.4.1 计算模型与网格划分 | 第24-26页 |
| 2.4.2 计算方法与参数设置 | 第26-28页 |
| 2.5 结果分析 | 第28-35页 |
| 2.5.1 摩阻传感器测量范围评估结果 | 第28页 |
| 2.5.2 摩阻传感器移动间隙、平齐度影响规律研究 | 第28-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 MEMS摩阻传感器研制 | 第36-51页 |
| 3.1 MEMS摩阻传感器工作原理 | 第36-37页 |
| 3.2 MEMS摩阻传感器总体结构 | 第37-39页 |
| 3.3 MEMS摩阻传感器接口电路设计 | 第39-44页 |
| 3.3.1 微小电容检测方法 | 第39-40页 |
| 3.3.2 接口电路方案设计 | 第40-42页 |
| 3.3.3 通讯接口设计 | 第42-44页 |
| 3.4 MEMS摩阻传感器混合式制造工艺 | 第44-46页 |
| 3.5 MEMS摩阻传感器原理样机制作 | 第46-50页 |
| 3.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 MEMS摩阻传感器静态校准 | 第51-58页 |
| 4.1 MEMS摩阻传感器静态校准方法研究 | 第51-52页 |
| 4.2 MEMS摩阻传感器校准测试 | 第52-55页 |
| 4.2.1 测量装置与静校设备 | 第52-53页 |
| 4.2.2 摩阻传感器样机静态校准方案 | 第53-55页 |
| 4.3 MEMS摩阻传感器静校结果分析 | 第55-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 MEMS摩阻传感器高超声速风洞验证试验 | 第58-67页 |
| 5.1 试验设备与试验装置 | 第58-61页 |
| 5.1.1 试验设备 | 第58-59页 |
| 5.1.2 摩阻传感器 | 第59页 |
| 5.1.3 试验装置 | 第59-61页 |
| 5.2 验证试验内容 | 第61页 |
| 5.3 试验数据处理方法 | 第61-62页 |
| 5.4 试验结果分析 | 第62-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结束语 | 第67-69页 |
| 6.1 研究结论 | 第67-68页 |
| 6.2 工作展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 个人简介 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |