基于微相关导引的SPM低漂移扫描方法研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 插图 | 第13-17页 |
| 表格 | 第17-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-38页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第18-19页 |
| ·扫描探针显微镜图像的畸变 | 第19-25页 |
| ·图像畸变的种类 | 第19页 |
| ·蠕变和迟滞对图像畸变的影响 | 第19-22页 |
| ·温漂带来的图像畸变 | 第22-25页 |
| ·国内外对SPM漂移的研究 | 第25-34页 |
| ·硬件材料选择和机械设计 | 第25-26页 |
| ·图像处理方法校正漂移 | 第26-34页 |
| ·本论文的研究目的和创新之处 | 第34-35页 |
| ·本论文研究内容和结构安排 | 第35-38页 |
| 第二章 微相关导引扫描的工作原理 | 第38-56页 |
| ·光栅扫描方式与漂移的影响 | 第38-40页 |
| ·数字图像相关运算的应用 | 第40-41页 |
| ·相关导引的线区域扫描 | 第41-47页 |
| ·线区域扫描 | 第41-43页 |
| ·相关搜索法计算漂移速度 | 第43-45页 |
| ·相关导引的线区域扫描 | 第45-47页 |
| ·微相关导引扫描方法 | 第47-54页 |
| ·相关导引的窄带追踪扫描 | 第47-48页 |
| ·微相关导引的面区域扫描 | 第48-50页 |
| ·漂移的计算和图像校正 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 微相关导引扫描仿真分析 | 第56-68页 |
| ·传统光栅式扫描过程的仿真 | 第56-58页 |
| ·微相关导引扫描过程的仿真 | 第58-63页 |
| ·影响扫描结果的因素分析 | 第63-67页 |
| ·不同重叠率对图像质量的影响 | 第63-64页 |
| ·不同预设漂移量对图像质量的影响 | 第64-65页 |
| ·重叠率和预设漂移量对扫描结果的影响 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 实验平台的实现 | 第68-92页 |
| ·实验平台 | 第68-78页 |
| ·原子力显微镜主机 | 第68-73页 |
| ·控制系统 | 第73-76页 |
| ·软件系统 | 第76-78页 |
| ·仪器的控制方法 | 第78-81页 |
| ·LabVIEW和MATLAB无缝连接 | 第78-79页 |
| ·扫描器的控制 | 第79-80页 |
| ·实验平台及装置 | 第80-81页 |
| ·原子力显微镜扫描功能的实现 | 第81-89页 |
| ·X-Y控制信号 | 第81-83页 |
| ·高度信号采集及图像生成 | 第83-85页 |
| ·光栅式扫描方法的扫描程序 | 第85-86页 |
| ·样品的扫描图像 | 第86-89页 |
| ·本章小结 | 第89-92页 |
| 第五章 微相关导引扫描方法的实现 | 第92-126页 |
| ·相关导引的点区域追踪扫描 | 第92-98页 |
| ·控制程序设计 | 第92-95页 |
| ·实验结果 | 第95-98页 |
| ·相关导引的窄带追踪扫描 | 第98-110页 |
| ·程序设计 | 第98-102页 |
| ·实验结果 | 第102-110页 |
| ·微相关导引扫描方法 | 第110-124页 |
| ·虚偏移解决漏扫描问题 | 第110-114页 |
| ·程序设计 | 第114-117页 |
| ·实验结果 | 第117-124页 |
| ·本章小结 | 第124-126页 |
| 第六章 总结与展望 | 第126-130页 |
| ·工作总结 | 第126-127页 |
| ·展望 | 第127-130页 |
| 参考文献 | 第130-136页 |
| 致谢 | 第136-138页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第138-139页 |
