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磁电阻效应传感器材料结构及性能的研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-9页
目录第9-12页
1 综述第12-24页
   ·引言第12页
   ·磁电阻效应第12-18页
     ·正常磁电阻效应第12-13页
     ·各向异性磁电阻效应第13页
     ·巨磁电阻效应第13-15页
     ·隧穿磁电阻效应第15-17页
     ·庞磁电阻效应第17页
     ·磁性隧道结的应用第17-18页
   ·颗粒膜磁电阻效应第18-22页
     ·金属/金属型磁性纳米颗粒膜体系磁电阻效应第18-19页
     ·绝缘体颗粒膜体系磁电阻效应第19-20页
     ·磁性金属/半导体纳米颗粒膜体系磁电阻效应第20-22页
     ·磁性颗粒膜磁电阻效应在 GIG 传感器中的应用第22页
   ·本论文主要研究内容第22-24页
     ·磁性金属-半导体颗粒膜磁电阻效应的研究第22-23页
     ·L1_0-CoPt 基线性传感器的研究第23-24页
2 薄膜样品的制备及测试第24-34页
   ·前言第24页
   ·薄膜的制备第24-27页
     ·基片的清洗第24-25页
     ·磁控溅射制备样品第25-26页
     ·热处理对薄膜结构和性能的影响第26-27页
   ·薄膜结构与性能表征第27-34页
     ·薄膜厚度测试第27-28页
     ·X 射线衍射分析第28页
     ·扫描电子显微镜第28-29页
     ·原子力显微镜第29页
     ·薄膜磁学性能及磁电阻效应的测量第29-34页
3 Co/ZnO 薄膜磁电阻效应及其与薄膜电阻率的关系第34-40页
   ·引言第34页
   ·实验过程第34-35页
   ·结果和讨论第35-39页
     ·薄膜的室温磁电阻效应与电阻率的关系第35-36页
     ·薄膜的磁性与结构第36-38页
     ·薄膜的磁电阻效应与电输运的关系第38-39页
   ·本章小结第39-40页
4 L1_0-CoPt 基隧道结中 CoPt 参考层的制备与性能第40-48页
   ·引言第40页
   ·实验过程第40-41页
   ·实验结果与讨论第41-46页
     ·不同基片(玻璃,MgO,SiO_2)对 Ag/CoPt 薄膜结构的影响第41-42页
     ·SiO_2/Ag(xnm)/CoPt(50nm)薄膜结构与磁性第42-43页
     ·SiO_2/Ag(50nm)/CoPt(ynm)薄膜结构第43-44页
     ·退火温度对 SiO_2/Ag/CoPt 薄膜磁性的影响第44-45页
     ·保温时间对 SiO_2/Ag/CoPt 薄膜磁性的影响第45-46页
     ·升温速率对 SiO_2/Ag/CoPt 薄膜表面形貌的影响第46页
   ·本章小结第46-48页
5 L1_0-CoPt/ZnO(MgO)/Co 多层膜的结构及磁性研究第48-54页
   ·引言第48页
   ·实验方法第48-49页
   ·实验结果与讨论第49-52页
     ·连续沉积的 CoPt/ZnO/Co 多层膜的磁性第49页
     ·分步沉积 CoPt/ZnO/Co 薄膜结构与磁性能第49-51页
     ·SiO_2/Ag/CoPt/MgO/Co 多层膜结构与磁性能第51-52页
   ·本章小结第52-54页
6 结论第54-56页
致谢第56-58页
参考文献第58-64页
附录第64页

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