| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-16页 |
| ·超透镜特性研究 | 第8-9页 |
| ·可见光范围褶皱金属膜单缝系统单透性 | 第9-14页 |
| ·论文主要内容和结构安排 | 第14-16页 |
| 第2章 光刻装置中超透镜特性研究 | 第16-30页 |
| ·零折射理论介绍 | 第16-18页 |
| ·结构模型与理论计算 | 第18-20页 |
| ·计算结果与讨论 | 第20-28页 |
| ·参数变化对成像的影响 | 第20-23页 |
| ·光刻装置中透射系数的研究 | 第23-26页 |
| ·刻槽在光刻胶中的形状 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 可见光范围褶皱金属膜单缝系统的单透性 | 第30-44页 |
| ·时域有限差分方法(FDTD)的基本原理 | 第30-34页 |
| ·单层亚波长金属单缝/褶皱膜结构 | 第34-37页 |
| ·双层亚波长金属单缝/褶皱膜系统 | 第37-42页 |
| ·层间距d的影响 | 第38-39页 |
| ·可见光范围内系统透射率研究 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 总结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-52页 |
| 硕士期间所发表的论文 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54页 |