| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·前言 | 第11-12页 |
| ·铁电压电材料的概况 | 第12-14页 |
| ·铁电性及铁电材料的发展过程 | 第12-13页 |
| ·压电性及压电材料的发展过程 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的制备技术 | 第14-15页 |
| ·铁电材料自极化 | 第15-18页 |
| ·铁电材料的自极化现象 | 第15页 |
| ·自极化铁电薄膜的研究进展 | 第15-18页 |
| ·Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3材料的概况 | 第18-23页 |
| ·弛豫铁电体 | 第18-19页 |
| ·Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3结构特点及性质 | 第19-21页 |
| ·Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜的研究进展 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究意义及目的 | 第23-24页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第24-25页 |
| 第二章 实验方案设计与研究方法 | 第25-35页 |
| ·实验原料及设备 | 第25页 |
| ·LaNiO_3底电极和 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜的制备 | 第25-30页 |
| ·前驱体溶液的配置 | 第25-28页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第28-30页 |
| ·Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜的分析测试技术 | 第30-35页 |
| ·X-射线衍射法 | 第30-31页 |
| ·铁电测试仪 | 第31页 |
| ·阻抗分析仪 | 第31-32页 |
| ·原子力显微镜 | 第32-35页 |
| 第三章 退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜结构和性能的影响 | 第35-55页 |
| ·引言 | 第35-36页 |
| ·预处理温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜结构的影响 | 第36-37页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜结构的影响 | 第37-40页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜漏电特性的影响 | 第40-44页 |
| ·漏电特性的研究 | 第41-42页 |
| ·漏电机制的研究 | 第42-44页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜铁电性能的影响 | 第44-47页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜抗击穿性能的影响 | 第47-48页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜介电性能的影响 | 第48-51页 |
| ·退火温度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜自极化的影响 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 第四章 LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜结构和性能的影响 | 第55-73页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·不同晶化程度 LaNiO_3电极的结构分析 | 第55-56页 |
| ·LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜结构的影响 | 第56-58页 |
| ·LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜漏电特性的影响 | 第58-61页 |
| ·漏电特性的研究 | 第58-59页 |
| ·漏电机制的研究 | 第59-61页 |
| ·LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜铁电性能的影响 | 第61-64页 |
| ·LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜介电特性的影响 | 第64-68页 |
| ·LaNiO_3电极晶化程度对 Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3薄膜自极化的影响 | 第68-71页 |
| ·小结 | 第71-73页 |
| 第五章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 附录 | 第85页 |
