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Zn3N2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-38页
   ·氮化锌薄膜的研究第10-21页
     ·概述第10页
     ·氮化物薄膜的研究现状第10-16页
       ·GaN第13-14页
       ·AlN第14-15页
       ·InN第15-16页
     ·氮化锌薄膜的研究现状第16-21页
   ·AZO/Cu/AZO 多层透明导电薄膜的研究第21-31页
     ·透明导电薄膜的性质与种类第21页
     ·氧化物透明导电薄膜的研究现状第21-25页
       ·氧化锌(ZnO)掺杂体系薄膜第21-23页
       ·三氧化二铟(In_0_3)掺杂体系薄膜第23-24页
       ·二氧化锡(Sn0_2)掺杂体系薄膜第24-25页
       ·多元共参杂薄膜的研究第25页
     ·氧化物/金属/氧化物多层结构透明导电薄膜的研究现状第25-30页
     ·氧化物/金属/氧化物多层结构透明导电薄膜的应用第30-31页
   ·薄膜的制备技术第31-36页
     ·真空蒸发镀膜第31-32页
     ·溅射镀膜第32-33页
     ·离子成膜技术第33-34页
       ·离子镀成膜第33页
       ·离子束成膜第33-34页
     ·化学气相沉积第34页
     ·脉冲激光沉积第34-35页
     ·溶胶-凝胶法第35页
     ·喷涂热分解法第35-36页
   ·本论文主要研究内容第36-38页
第二章 薄膜制备及表征方法第38-58页
   ·制备方法与原理第38-47页
     ·磁控溅射的基本原理第38-44页
       ·直流溅射第38-43页
       ·射频磁控溅射第43-44页
     ·离子束溅射第44-45页
       ·离子束溅射的基本原理第44页
       ·离子束溅射的特点第44-45页
     ·MIS-560B 磁控溅射与离子束溅射联合设备第45-47页
   ·表征方法及原理第47-57页
     ·薄膜相结构及成分分析第47-49页
       ·薄膜相结构分析第47-48页
       ·薄膜成分分析(X-射线光电子能谱(XPS))第48-49页
     ·薄膜形貌分析第49-51页
     ·薄膜光学性质测量第51-54页
     ·薄膜电学性质测量第54-56页
     ·薄膜厚度的测量第56-57页
   ·小结第57-58页
第三章 氮化锌薄膜制备与特性研究第58-88页
   ·氮化锌薄膜的制备第58-60页
   ·氮分压对氮化锌薄膜性质的影响第60-68页
     ·氮分压对氮化锌薄膜结构的影响第60-65页
     ·氮分压对光学性质的影响第65-68页
     ·小结第68页
   ·溅射功率对薄膜特性的影响第68-75页
     ·溅射功率对Zn_3N_2薄膜结构影响第69-71页
     ·溅射功率对电学性质的影响第71-72页
     ·溅射功率对Zn_3N_2薄膜光学性质的影响第72-74页
     ·小结第74-75页
   ·溅射工作气压对氮化锌薄膜性质的影响第75-80页
     ·工作气压对结构性质的影响第75-78页
     ·工作气压对电学性质的影响第78-79页
     ·工作气压对光学性质的影响第79页
     ·小结第79-80页
   ·衬底温度对氮化锌薄膜性质的影响第80-84页
     ·衬底温度与氮化锌薄膜生长速度的关系第80-81页
     ·衬底温度对氮化锌结构性质的影响第81页
     ·衬底温度对电学性质的影响第81-83页
     ·衬底温度对光学性质的影响第83页
     ·小结第83-84页
   ·玻璃/Zn_3N_2/AZO 多层结构薄膜的特性第84-88页
     ·玻璃/Zn_3N_2/AZO 多层结构薄膜结构特性第84-85页
     ·玻璃/Zn_3N_2/AZO 多层结构薄膜光学特性第85-86页
     ·玻璃/Zn_3N_2/AZO 多层结构薄膜电学特性第86-87页
     ·小结第87-88页
第四章 AZO/Cu/AZO 多层薄膜的研究第88-121页
   ·样品制备第89-91页
   ·多层薄膜的光电理论第91-101页
     ·多层薄膜的电学特性第91-95页
     ·多层薄膜的光学特性第95-101页
       ·金属薄膜的光学特性第95-97页
       ·多层膜的光学特性第97-101页
   ·AZO 厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜特性的影响第101-108页
     ·AZO 厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜结构的影响第101-105页
     ·AZO 厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜光学和电学特性的影响第105-108页
   ·Cu 层厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜特性的影响第108-115页
     ·Cu 层厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜结构特性的影响第108-113页
     ·Cu 层厚度对AZO/Cu/AZO 多层薄膜光电特性的影响第113-115页
   ·衬底温度对AZO/Cu/AZO 复合薄膜特性的影响第115-121页
     ·多层薄膜的衬底温度对薄膜的结构以及光电特性影响第115-117页
     ·缓冲层的衬底温度对多层薄膜的结构以及光电特性的影响第117-120页
     ·结论第120-121页
第五章 结论第121-125页
   ·主要结果第121-124页
   ·主要创新点第124-125页
参考文献第125-141页
发表论文和参加科研情况说明第141-142页
致谢第142页

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