模具铸层平整性及多样截面微结构制作方法
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·MEMS简介 | 第10-11页 |
| ·金属微结构模具的制作方法 | 第11-14页 |
| ·常用的金属微结构模具加工技术 | 第11-12页 |
| ·微电铸技术理论 | 第12-14页 |
| ·微电铸铸层表面不平整问题的研究现状 | 第14-18页 |
| ·弯曲变形现象和电铸瘤现象 | 第14-16页 |
| ·改善模具铸层表面平整性的研究现状 | 第16-18页 |
| ·微电铸多样化截面微结构镍模具的研究现状 | 第18-20页 |
| ·本文主要工作内容 | 第20-22页 |
| 2 微电铸技术工艺基础 | 第22-30页 |
| ·微电铸平台的设计与搭建 | 第22-25页 |
| ·微电铸溶液成分与工艺参数的优化 | 第25-29页 |
| ·微电铸溶液成分的优化 | 第25-27页 |
| ·微电铸工艺参数的优化 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 微电铸金属铸层弯曲变形问题的研究 | 第30-43页 |
| ·金属铸层弯曲变形的理论研究 | 第30-34页 |
| ·铸层弯曲变形产生原因 | 第30-32页 |
| ·电流参数对铸层弯曲变形的影响 | 第32-34页 |
| ·金属铸层弯曲变形程度的测量方法 | 第34-35页 |
| ·电流参数对铸层弯曲变形影响的实验研究 | 第35-42页 |
| ·实验过程 | 第35-36页 |
| ·实验结果与分析 | 第36-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 消除铸层电铸瘤的阴极屏蔽结构设计 | 第43-54页 |
| ·电铸瘤的产生原因 | 第43-45页 |
| ·阴极屏蔽结构的仿真设计与实验研究 | 第45-52页 |
| ·电流密度分布理论模型分析 | 第45-46页 |
| ·屏蔽结构对电流密度分布影响的仿真分析 | 第46-49页 |
| ·实验结果与仿真结果比较分析 | 第49-52页 |
| ·阴极屏蔽结构的改进设计与实验结果 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 微电铸多样截面微结构镍模具的工艺研究 | 第54-63页 |
| ·三角形截面微结构镍模具的制作 | 第54-56页 |
| ·矩形截面微结构镍模具的制作 | 第56-58页 |
| ·拱门形截面微结构金属模具的制作 | 第58-62页 |
| ·硅的各向同性湿法刻蚀实验研究 | 第58-60页 |
| ·制作工艺路线及实验结果 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-69页 |
| 攻读硕士学位期间获得的荣誉 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
