超声改善微电铸铸层均匀性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·微电铸工艺中的铸层不均匀性问题 | 第10-11页 |
| ·铸层均匀性的研究现状 | 第11-13页 |
| ·超声波技术在微电铸工艺中的应用现状 | 第13-18页 |
| ·课题研究内容 | 第18-19页 |
| 2 铸层不均匀性机理 | 第19-24页 |
| ·阴极表面的电流分布 | 第19-20页 |
| ·马鞍形形貌的形成机理 | 第20-22页 |
| ·迁移电流对马鞍形形貌的影响 | 第20-22页 |
| ·扩散电流对马鞍形形貌的影响 | 第22页 |
| ·帽形铸层形貌的形成原因 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 一种铸层厚度的测量方法 | 第24-29页 |
| ·常见铸层厚度测量方法 | 第24-25页 |
| ·基于电感测微仪的间接厚度测量法的测量原理 | 第25-26页 |
| ·基于电感测微仪的间接厚度测量法的测量过程 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 4 超声改善铸层均匀性的实验研究 | 第29-50页 |
| ·实验材料与实验装置 | 第29-30页 |
| ·超声对微结构均匀性影响实验过程 | 第30-33页 |
| ·掩膜图形设计 | 第30页 |
| ·实验过程 | 第30-33页 |
| ·超声对大面积铸层均匀性影响实验过程 | 第33-36页 |
| ·掩膜图形设计 | 第33-34页 |
| ·实验过程 | 第34-36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-50页 |
| ·铸层均匀性的评价方法 | 第36-37页 |
| ·超声对铸层厚度的影响 | 第37-41页 |
| ·超声对铸层均匀性的影响 | 第41-46页 |
| ·超声对铸层均匀性的影响机理 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 5 超声电铸实验装置的方案设计 | 第50-58页 |
| ·电铸箱体的组成 | 第50-51页 |
| ·超声施加方式 | 第51-54页 |
| ·超声装置的固定 | 第54-55页 |
| ·超声装置参数的确定 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
