| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-14页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·论文各章节主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 CO_2激光修复熔石英的理论基础 | 第14-37页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·熔石英损伤修复的理论分析 | 第14-22页 |
| ·熔石英的热学性能 | 第14-15页 |
| ·激光损伤的机理 | 第15-17页 |
| ·初始损伤和损伤增长 | 第17-18页 |
| ·修复机理 | 第18-20页 |
| ·HF刻蚀对损伤修复的作用 | 第20-22页 |
| ·CO_2激光对熔石英损伤修复的方法 | 第22-28页 |
| ·定点修复 | 第22-26页 |
| ·光栅刻线式扫描 | 第26-27页 |
| ·振镜扫描 | 第27-28页 |
| ·CO_2激光修复技术存在的问题和应对措施 | 第28-36页 |
| ·表面残留物的清除 | 第28-29页 |
| ·应力的产生和控制 | 第29-33页 |
| ·应力的产生 | 第29-30页 |
| ·应力的影响 | 第30-31页 |
| ·应力的消除 | 第31-33页 |
| ·气泡的产生和控制 | 第33-34页 |
| ·气泡的产生以及诱因 | 第33-34页 |
| ·气泡大小及数量的控制 | 第34页 |
| ·烧蚀的产生和控制 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 CO_2激光对熔石英表面大尺寸损伤的定点修复 | 第37-43页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·制造损伤点 | 第37-38页 |
| ·损伤修复 | 第38-41页 |
| ·损伤阈值 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 振镜扫描修复 | 第43-52页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·造损伤点 | 第43-44页 |
| ·损伤修复 | 第44-51页 |
| ·修复对面型的影响 | 第46-49页 |
| ·占空比对面型的影响 | 第46页 |
| ·扫描速度对面型的影响 | 第46-47页 |
| ·烧蚀和气泡的控制 | 第47-48页 |
| ·气泡的控制 | 第48页 |
| ·烧蚀的控制 | 第48-49页 |
| ·应力 | 第49-50页 |
| ·阈值 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结和展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |