| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-51页 |
| ·研究背景 | 第14-16页 |
| ·国内外提升光学元件损伤阈值的方法 | 第16-18页 |
| ·元件表面加工工艺研究进展 | 第18-20页 |
| ·预处理研究进展 | 第20-30页 |
| ·化学刻蚀 | 第20-23页 |
| ·离子束抛光 | 第23-26页 |
| ·激光预处理 | 第26-30页 |
| ·紫外与近红外激光预处理 | 第27-28页 |
| ·CO_2激光预处理 | 第28-30页 |
| ·损伤修复研究进展 | 第30-49页 |
| ·损伤修复概述 | 第30页 |
| ·CO_2激光修复 | 第30-38页 |
| ·非蒸发式修复 | 第32-34页 |
| ·蒸发式修复 | 第34-38页 |
| ·UV+CO_2组合激光修复 | 第38-39页 |
| ·烧蚀和凸起形貌去除的研究进展 | 第39-46页 |
| ·应力控制研究进展 | 第46-48页 |
| ·CO_2激光修复理论研究 | 第48-49页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第49-51页 |
| 第二章 熔石英表面/亚表面缺陷/损伤特征研究 | 第51-71页 |
| ·缺陷的形成与分类 | 第51-55页 |
| ·划痕的形成 | 第52-53页 |
| ·划痕的分类 | 第53-55页 |
| ·根据形貌分类 | 第53-54页 |
| ·根据属性分类 | 第54-55页 |
| ·损伤点的特点与分类 | 第55-61页 |
| ·损伤点的特点 | 第55-58页 |
| ·损伤点的分类 | 第58-61页 |
| ·缺陷/损伤点的检测方法 | 第61-62页 |
| ·划痕/损伤点对元件抗激光损伤能力的影响 | 第62-69页 |
| ·HF 刻蚀去除抛光重沉积层及对划痕的影响 | 第62-67页 |
| ·实验方案 | 第62-64页 |
| ·实验结果与分析 | 第64-67页 |
| ·划痕对熔石英抗激光损伤能力的影响 | 第67-69页 |
| ·实验方案 | 第67页 |
| ·实验结果与分析 | 第67-69页 |
| ·损伤点对元件抗激光损伤能力的影响 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第三章 CO_2激光与熔石英材料相互作用的理论分析 | 第71-95页 |
| ·熔石英对 CO_2激光的反射和吸收 | 第72-74页 |
| ·CO_2激光作用下熔石英材料的温升 | 第74-81页 |
| ·温度场分布的数值求解 | 第76-79页 |
| ·单点辐照 | 第76-79页 |
| ·局域/全口径扫描 | 第79页 |
| ·温度场分布的有限元分析 | 第79-81页 |
| ·温度场分布模拟的有限元单元 | 第81页 |
| ·熔石英材料的熔融 | 第81-83页 |
| ·熔石英材料的气化与烧蚀 | 第83-85页 |
| ·热应力 | 第85-91页 |
| ·热应力的数值求解 | 第86-89页 |
| ·热应力的有限元求解 | 第89-91页 |
| ·应力场模拟的有限元单元 | 第91页 |
| ·有限元模型的建立及假设条件 | 第91-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第四章 划痕及损伤点的修复 | 第95-140页 |
| ·修复参数对修复效果的影响 | 第96-105页 |
| ·激光频率对修复效果的影响 | 第96-101页 |
| ·实验方案 | 第96-97页 |
| ·实验结果及分析 | 第97-101页 |
| ·功率和辐照时间对修复效果的影响 | 第101-105页 |
| ·实验方案 | 第101-102页 |
| ·实验结果及分析 | 第102-105页 |
| ·划痕的 CO_2激光扫描修复 | 第105-110页 |
| ·理论模拟及分析 | 第105-107页 |
| ·实验方案 | 第107-108页 |
| ·实验结果及分析 | 第108-110页 |
| ·损伤点的 CO_2激光单点修复 | 第110-132页 |
| ·修复方式选择 | 第110-111页 |
| ·修复参数及修复过程 | 第111-119页 |
| ·修复点形貌及完整性判断 | 第119-122页 |
| ·气泡的分类及对修复点损伤阈值的影响 | 第122-125页 |
| ·烧蚀的分类与去除 | 第125-132页 |
| ·烧蚀的分类 | 第127-128页 |
| ·烧蚀的去除 | 第128-132页 |
| ·CO_2激光与 HF 结合修复损伤点 | 第132-138页 |
| ·HF 与 SiO2的反应机理 | 第132-134页 |
| ·损伤点的 HF 刻蚀 | 第134-136页 |
| ·损伤刻蚀点的 CO_2激光平滑处理 | 第136-138页 |
| ·本章小结 | 第138-140页 |
| 第五章 残余应力的测量与退火消除 | 第140-169页 |
| ·残余应力的特点 | 第140-142页 |
| ·残余应力的检测及估算 | 第142-146页 |
| ·残余应力的 Ansys 模拟 | 第146-150页 |
| ·退火与残余应力控制 | 第150-155页 |
| ·退火设备 | 第151页 |
| ·环境与气氛对退火效果的影响 | 第151-153页 |
| ·退火过程 | 第153-155页 |
| ·保温阶段 | 第153-154页 |
| ·升温和降温阶段 | 第154-155页 |
| ·退火参数对残余应力的影响 | 第155-159页 |
| ·等时退火过程 | 第155-157页 |
| ·等温退火过程 | 第157-159页 |
| ·退火及后处理对熔石英元件表面质量的影响 | 第159-162页 |
| ·残余应力对修复点抗激光损伤能力的影响 | 第162-167页 |
| ·未退火修复点的损伤特点 | 第162-165页 |
| ·退火处理对修复点损伤阈值的影响 | 第165-167页 |
| ·本章小结 | 第167-169页 |
| 第六章 修复效果的考核及损伤阈值规律分析 | 第169-193页 |
| ·修复划痕的抗激光损伤能力考核 | 第169-170页 |
| ·修复点抗激光损伤能力考核和损伤特点研究 | 第170-186页 |
| ·修复点损伤阈值与测试光斑的关系 | 第171-178页 |
| ·损伤概率的 S 型分布 | 第172-174页 |
| ·损伤概率的分类统计 | 第174-175页 |
| ·损伤阈值的正态分布 | 第175-177页 |
| ·光斑尺寸和形貌对损伤阈值的影响 | 第177-178页 |
| ·损伤寿命 | 第178-181页 |
| ·损伤增长 | 第181-186页 |
| ·修复点的光场调制 | 第186-191页 |
| ·本章小结 | 第191-193页 |
| 第七章 总结和展望 | 第193-198页 |
| ·全文总结 | 第193-196页 |
| ·研究展望 | 第196-198页 |
| 致谢 | 第198-199页 |
| 参考文献 | 第199-213页 |
| 附录Ⅰ：应力-应变关系 | 第213-216页 |
| 博士期间取得的研究成果 | 第216-217页 |