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合金元素Y及离子轰击对α-Al2O3涂层的影响

摘要第1-5页
Abstract第5-12页
第一章 绪论第12-25页
   ·研究背景第12-15页
     ·阻氚渗透涂层应用背景第12-13页
     ·阻氚结构材料的选择第13页
     ·氧化物阻氚渗透涂层的研究进展第13-15页
   ·磁控溅射技术第15-18页
     ·磁控溅射技术原理第15-17页
     ·磁控溅射技术特点第17-18页
     ·磁控溅射技术的发展现状第18页
   ·稀土元素在涂层中的应用研究第18-22页
     ·稀土元素的特点第18-19页
     ·稀土元素在材料制备过程中的作用第19-20页
     ·稀土元素在涂层技术中的应用研究进展第20-22页
   ·本文研究意义和研究内容第22-25页
     ·研究意义第22-23页
     ·研究内容第23-25页
第二章 试验过程及研究方法第25-31页
   ·Al-Y 涂层的制备第25-27页
     ·磁控溅射材料第25页
     ·磁控溅射设备第25-26页
     ·试验规程与步骤第26-27页
   ·磁控溅射 Al-Y 涂层的氧化第27-29页
     ·等离子氧化第27-29页
     ·热氧化第29页
   ·组织结构与性能测试方法第29-31页
     ·涂层组织结构分析第29-30页
     ·涂层结合力测试第30页
     ·涂层耐腐蚀性能测试第30页
     ·涂层抗热震性能测试第30-31页
第三章 离子轰击对 316L 不锈钢表面α-Al_2O_3涂层的影响研究第31-50页
   ·磁控溅射 Al-Y 涂层的制备及表征第31-40页
     ·磁控溅射参数的正交试验设计第31-32页
     ·磁控溅射参数对涂层结合力的影响第32-35页
     ·磁控溅射 Al-Y 涂层的组织结构第35-36页
     ·不同 Y 含量磁控溅射涂层的制备及其性能第36-40页
   ·磁控溅射 Al-Y 涂层的氧化研究第40-44页
     ·等离子氧化第40-43页
     ·热氧化第43-44页
   ·离子轰击对α-Al_2O_3涂层组织结构及性能的影响第44-49页
     ·离子轰击对涂层中α-Al_2O_3含量的影响第44-45页
     ·离子轰击对涂层组织形貌的影响第45-46页
     ·离子轰击对涂层结合力的影响第46-47页
     ·离子轰击对涂层耐蚀性的影响第47-48页
     ·离子轰击对涂层抗热震性能的影响第48-49页
   ·本章小结第49-50页
第四章 Y 对 316L 不锈钢表面α-Al_2O_3涂层的影响研究第50-67页
   ·Y 对等离子氧化涂层的影响第50-58页
     ·Y 含量对等离子氧化涂层中α-Al_2O_3含量的影响第50-51页
     ·Y 含量对等离子氧化涂层组织形貌的影响第51-53页
     ·Y 含量对等离子氧化涂层结合力的影响第53-55页
     ·Y 含量对等离子氧化涂层耐蚀性的影响第55-57页
     ·Y 含量对等离子氧化涂层抗热震性的影响第57-58页
   ·Y 对热氧化涂层的影响第58-65页
     ·Y 含量对热氧化涂层中α-Al_2O_3含量的影响第58-59页
     ·Y 含量对热氧化涂层组织形貌的影响第59-61页
     ·Y 含量对热氧化涂层结合力的影响第61-63页
     ·Y 含量对热氧化涂层耐蚀性的影响第63-64页
     ·Y 含量对热氧化涂层抗热震性的影响第64-65页
   ·本章小结第65-67页
第五章 总结与展望第67-70页
   ·全文总结第67-69页
   ·后续工作展望第69-70页
参考文献第70-75页
致谢第75-76页
研究生期间发表的论文第76页

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