| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-28页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·氧化钛的结构和特性 | 第14-19页 |
| ·二氧化钛的晶体结构 | 第14-15页 |
| ·二氧化钛的能带结构 | 第15-18页 |
| ·氧化钛相图 | 第18-19页 |
| ·非制冷红外探测器简介 | 第19-20页 |
| ·测辐射热计基本原理 | 第20-21页 |
| ·测辐射热计常用热敏材料 | 第21-24页 |
| ·氧化钒薄膜 | 第21-22页 |
| ·非晶硅薄膜 | 第22-23页 |
| ·Y-Ba-Cu-O半导体非晶薄膜 | 第23-24页 |
| ·氧化钛薄膜在微测辐射热计的应用 | 第24-26页 |
| ·本论文的主要研究内容与结构 | 第26-28页 |
| ·论文主要研究内容 | 第26页 |
| ·论文结构 | 第26-28页 |
| 第二章 氧化钛薄膜的制备原理及测试表征方法 | 第28-41页 |
| ·氧化钛薄膜的制备原理 | 第28-31页 |
| ·溅射镀膜原理 | 第28页 |
| ·反应溅射原理及迟滞效应 | 第28-31页 |
| ·氧化钛薄膜的微观结构表征和宏观性能测试 | 第31-41页 |
| ·掠入射X射线衍射分析 | 第31-32页 |
| ·场发射扫描电子显微分析 | 第32-33页 |
| ·原子力显微分析 | 第33页 |
| ·卢瑟福背散射谱 | 第33-35页 |
| ·X 射线光电子能谱 | 第35-36页 |
| ·激光拉曼光谱 | 第36-38页 |
| ·紫外-可见分光光度法 | 第38-39页 |
| ·电学性能测试原理及方法 | 第39-41页 |
| 第三章 非晶氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究 | 第41-61页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·a-TiO_x薄膜的制备方法与测试表征 | 第42-44页 |
| ·a-TiO_x薄膜的制备方法 | 第42-43页 |
| ·a-TiO_x薄膜的测试表征 | 第43-44页 |
| ·a-TiO_x薄膜的微观结构表征和分析 | 第44-51页 |
| ·掠入射X射线衍射分析 | 第44-45页 |
| ·场发射扫描电子显微分析 | 第45-47页 |
| ·卢瑟福背散射谱分析 | 第47-48页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第48-50页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第50-51页 |
| ·a-TiO_x薄膜的宏观特性测试和分析 | 第51-59页 |
| ·光学特性 | 第51-53页 |
| ·电学特性 | 第53-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第四章 纳米金红石型氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究 | 第61-86页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·R-TiO_x薄膜的制备方法与测试表征 | 第62页 |
| ·R-TiO_x薄膜的制备方法 | 第62页 |
| ·R-TiO_x薄膜的测试表征 | 第62页 |
| ·R-TiO_x与a-TiO_x薄膜微观结构表征和对比分析 | 第62-70页 |
| ·掠入射X射线衍射分析 | 第63-64页 |
| ·场发射扫描电子显微分析 | 第64-66页 |
| ·卢瑟福背散射谱分析 | 第66-67页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第67-68页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第68-70页 |
| ·R-TiO_x与 a-TiO_x薄膜的宏观特性测试和对比分析 | 第70-74页 |
| ·光学特性 | 第70-72页 |
| ·电学特性 | 第72-74页 |
| ·氧分量对 R-TiO_x薄膜的微观结构和形貌的影响 | 第74-81页 |
| ·掠入射X射线衍射分析 | 第74-76页 |
| ·原子力显微分析 | 第76-78页 |
| ·卢瑟福背散射谱分析 | 第78-79页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第79-80页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第80-81页 |
| ·氧分量对R-TiO_x薄膜宏观特性的影响 | 第81-84页 |
| ·光学特性 | 第81-83页 |
| ·电学特性 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-86页 |
| 第五章 热处理对氧化钛薄膜的微结构及特性影响 | 第86-103页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·热处理方法与TiO_x薄膜的测试表征 | 第86-87页 |
| ·氧气退火对TiO_x薄膜微观结构和形貌的影响研究 | 第87-96页 |
| ·掠入射X射线衍射分析 | 第87-88页 |
| ·表面形貌显微分析 | 第88-91页 |
| ·卢瑟福背散射谱分析 | 第91-92页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第92-94页 |
| ·激光拉曼光谱分析 | 第94-96页 |
| ·氧气退火对TiO_x薄膜宏观特性的影响 | 第96-101页 |
| ·光学特性 | 第96-98页 |
| ·电学特性 | 第98-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 第六章 结论与展望 | 第103-106页 |
| ·全文工作总结 | 第103-104页 |
| ·论文的主要创新点 | 第104-105页 |
| ·后续工作与展望 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-122页 |
| 攻博期间取得的研究成果 | 第122-124页 |
