| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·微结构气敏传感器结构与原理 | 第10-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·本文的研究意义和内容 | 第15-17页 |
| 2 平板共面型传感器结构设计与热分析 | 第17-36页 |
| ·共面结构传感器设计与制作 | 第18-26页 |
| ·平面型加热器设计制作与评价 | 第26-33页 |
| ·加热器一致性研究 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列气敏性能研究 | 第36-59页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·实验方案 | 第36-39页 |
| ·MnO_2 掺杂ZnO 厚膜物相与形貌表征 | 第39-43页 |
| ·工艺参数对传感器气敏性能的影响 | 第43-53页 |
| ·改进工艺处理传感器气敏性能 | 第53-56页 |
| ·Zn-Mn-O 材料气敏机理 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 MnO_2掺杂ZnO 平板型气敏传感器阵列稳定性研究 | 第59-75页 |
| ·MOX 气敏传感器稳定性影响因素 | 第59-60页 |
| ·气敏传感器稳定性评价标准 | 第60-62页 |
| ·稳定性测试方法 | 第62-63页 |
| ·MnO_2 掺杂ZnO 基平板型传感器稳定性测试 | 第63-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 5 结论与展望 | 第75-77页 |
| ·结论 | 第75-76页 |
| ·展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
