| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·PZT 铁电薄膜的制备方法 | 第9-14页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第9-10页 |
| ·化学气相沉积法 | 第10-11页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第11-13页 |
| ·溅射法 | 第13-14页 |
| ·PZT 铁电薄膜的残余应力 | 第14-16页 |
| ·PZT 薄膜的铁电性能 | 第16-18页 |
| ·PZT 铁电薄膜的应用 | 第18-20页 |
| ·本文主要研究目的和意义 | 第20-22页 |
| 第2章 材料及试验方法 | 第22-26页 |
| ·试验材料 | 第22-23页 |
| ·溶胶凝胶 PZT 薄膜的制备工艺参数 | 第23-24页 |
| ·研究方法 | 第24-26页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第24页 |
| ·小角 X 射线散射分析 | 第24页 |
| ·显微组织扫描电子显微镜观察及能谱分析 | 第24-25页 |
| ·残余应力测量 | 第25页 |
| ·X 射线光电子谱分析 | 第25页 |
| ·铁电性能测量 | 第25-26页 |
| 第3章 PZT 铁电薄膜的晶化行为分析及织构控制 | 第26-47页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·PZT 薄膜的结构分析 | 第26-34页 |
| ·PZT 粉体的典型物相 | 第26-27页 |
| ·薄膜厚度的测定 | 第27-29页 |
| ·薄膜厚度对薄膜物相的影响 | 第29-31页 |
| ·预烧温度对薄膜物相的影响 | 第31-32页 |
| ·退火温度对薄膜物相的影响 | 第32-33页 |
| ·退火温度对薄膜 PtTi 化合物的影响 | 第33-34页 |
| ·溶胶凝胶 PZT 薄膜的织构 | 第34-43页 |
| ·薄膜纤维型织构的描述 | 第34-35页 |
| ·薄膜纤维织构的? 扫描分析方法 | 第35-37页 |
| ·PZT 薄膜的织构分析 | 第37-43页 |
| ·界面层对 PZT 薄膜物相与织构的影响 | 第43-46页 |
| ·PbO 界面层对薄膜物相与织构的影响 | 第43-44页 |
| ·PLCT 界面层对薄膜物相与织构的影响 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 PZT 薄膜微观组织与导电机制 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·PZT 薄膜的成分分析 | 第47-49页 |
| ·PZT 薄膜的组织形貌 | 第49-50页 |
| ·PZT 薄膜的导电机制的研究 | 第50-54页 |
| ·微孔导电机制 | 第50-53页 |
| ·晶界贯穿导电机制 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 PZT 薄膜相变行为与残余应力分析 | 第55-75页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·PZT 相图及相变行为 | 第55-56页 |
| ·PZT 各相衍射峰位置的计算 | 第56-58页 |
| ·薄膜残余应力的掠入射 X 射线分析 | 第58-61页 |
| ·直流电场热处理 PZ T 薄膜的残余应力 | 第61-74页 |
| ·直流电场热处理原理 | 第61-62页 |
| ·低电压直流电场热处理对薄膜残应力及铁电性能的影响 | 第62-69页 |
| ·高电压电场热处理对薄膜相组成的影响 | 第69-71页 |
| ·电场热处理温度对铁电性能的影响 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-87页 |
| 附录 | 第87-91页 |
| 攻读硕士学位期间撰写的论文及申请的专利 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93页 |