| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| ·课题的背景及应用 | 第14-19页 |
| ·在纳米级精密定位领域中的应用 | 第14-15页 |
| ·在超精密加工领域中的应用 | 第15页 |
| ·在微零件的装配与操作领域中的应用 | 第15-16页 |
| ·在生物工程领域中的应用 | 第16页 |
| ·在医疗领域中的应用 | 第16-17页 |
| ·在光纤对接光学调整领域中的应用 | 第17-18页 |
| ·在半导体工业领域中的应用 | 第18-19页 |
| ·国内外研究现状 | 第19-23页 |
| ·微位移致动器的研究现状 | 第19-20页 |
| ·微位移机构的研究现状 | 第20-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 双轴柔性铰链转动柔度的研究 | 第25-36页 |
| ·前言 | 第25页 |
| ·柔性铰链的类型 | 第25-26页 |
| ·双轴柔性铰链转动柔度的计算公式推导 | 第26-30页 |
| ·在力矩M_z作用下柔性铰链绕z轴的角变形α_z | 第26-29页 |
| ·当θ_m=π/2时柔性铰链在力矩M(z)作用下转动柔度计算公式 | 第29-30页 |
| ·柔性铰链参数对转动柔度的影响 | 第30-32页 |
| ·有限元法验证及与J.M.Paros计算公式比较 | 第32-34页 |
| ·有限元分析概述 | 第32-34页 |
| ·有限元计算结果及J.M.Paros计算结果比较 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第三章 双轴柔性铰链系列设计计算公式研究 | 第36-48页 |
| ·前言 | 第36页 |
| ·卡氏(Castigliano)第二定理 | 第36-37页 |
| ·双轴柔性铰链柔度的设计计算 | 第37-43页 |
| ·双轴柔性铰链的几何结构、受力及变形 | 第37-38页 |
| ·绕z轴的角变形α_z | 第38-40页 |
| ·沿y轴的线性变形Δ_y | 第40-41页 |
| ·沿x轴的线性变形Δ_x | 第41页 |
| ·绕y轴的角变形α_y | 第41-42页 |
| ·沿z轴的线性变形Δ_z | 第42-43页 |
| ·直圆双轴柔性铰链柔度的设计计算 | 第43-45页 |
| ·绕z轴的角变形α_z | 第43-44页 |
| ·沿y轴的线性变形Δ_y | 第44页 |
| ·沿x轴的线性变形Δ_x | 第44-45页 |
| ·与J.M.Paros的设计计算公式比较 | 第45-46页 |
| ·应用柔度公式注意的问题及受力变形方向的规定 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 柔性铰链微位移工作台刚度特性研究 | 第48-63页 |
| ·前言 | 第48-49页 |
| ·伪刚体模型(PRBM) | 第49页 |
| ·柔度(刚度)矩阵 | 第49-51页 |
| ·柔性铰链单元刚度矩阵 | 第51-54页 |
| ·连杆单元刚度矩阵 | 第54-55页 |
| ·单向平动微位移工作台的有限元模型 | 第55-62页 |
| ·有限元法分析过程概述 | 第55-56页 |
| ·单向平动微位移工作台的有限元分析 | 第56-61页 |
| ·单向平动微位移工作台的仿真计算 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 柔性铰链机构的静刚度分析 | 第63-76页 |
| ·前言 | 第63页 |
| ·二维微位移工作台的结构设计 | 第63-64页 |
| ·微位移工作台的静刚度分析 | 第64-69页 |
| ·柔性铰链的结构参数及柔度计算公式 | 第64页 |
| ·微位移工作台沿y轴方向输出刚度的计算 | 第64-67页 |
| ·微位移工作台沿x轴方向输出刚度的计算 | 第67-69页 |
| ·柔性铰链参数及连杆长度对工作台输出刚度的影响 | 第69-72页 |
| ·微位移工作台的动态分析 | 第72页 |
| ·计算实例及有限元分析验证 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第82页 |