| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-27页 |
| ·前言 | 第9-11页 |
| ·微结构气体传感器的结构及原理 | 第11-12页 |
| ·气敏传感器阵列的研究现状 | 第12-13页 |
| ·气敏传感器制备工艺的研究现状 | 第13-22页 |
| ·器件稳定性的研究现状 | 第22-26页 |
| ·本课题研究的技术路线 | 第26-27页 |
| 2 纳米ZnO 基气敏传感器阵列的制备及敏感特性研究 | 第27-39页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·ZnO 敏感材料的制备 | 第27-28页 |
| ·气敏元件阵列的制备 | 第28-29页 |
| ·气敏膜的表征分析 | 第29-32页 |
| ·气敏元件的测试 | 第32-37页 |
| ·敏感机理分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 3 气敏传感器阵列稳定性的研究 | 第39-54页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·元件稳定性试验 | 第39-41页 |
| ·稳定性试验结果及讨论 | 第41-48页 |
| ·稳定性机理的分析 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 4 气敏传感器阵列一致性的研究 | 第54-61页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·元件一致性试验 | 第54-56页 |
| ·一致性试验结果和分析 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 全文总结 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-70页 |
| 附录 攻读硕士期间发表和待发表的论文 | 第70页 |