| 提要 | 第1-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| ·压电驱动技术的研究背景 | 第8-9页 |
| ·压电精密驱动器的分类及研究现状 | 第9-16页 |
| ·压电直动式驱动器 | 第10-11页 |
| ·压电惯性冲击式驱动器 | 第11-12页 |
| ·压电步进式驱动器 | 第12-16页 |
| ·压电驱动器主要应用领域 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 压电材料与压电叠堆器件 | 第20-28页 |
| ·压电材料的特性 | 第20-23页 |
| ·压电材料发展简介 | 第20-21页 |
| ·压电效应 | 第21页 |
| ·压电材料的性能参数 | 第21-23页 |
| ·压电叠堆 | 第23-27页 |
| ·压电叠堆的组成 | 第24-25页 |
| ·压电叠堆的基本特性 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 压电型步进式直线精密驱动器结构设计 | 第28-44页 |
| ·步进式驱动器的工作原理 | 第28-29页 |
| ·柔性铰链的分析 | 第29-32页 |
| ·柔性铰链的概述 | 第30页 |
| ·柔性铰链刚度计算 | 第30-32页 |
| ·压电步进式精密驱动器的结构设计 | 第32-41页 |
| ·箝位机构的分析 | 第33-37页 |
| ·驱动机构的分析 | 第37-40页 |
| ·调整机构的分析 | 第40页 |
| ·动子及导轨的设计 | 第40-41页 |
| ·精密驱动器的加工、装配及使用注意事项 | 第41页 |
| ·滚动直线滑轨与驱动器结合的结构的设计 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 压电型步进式直线驱动器的实验研究 | 第44-68页 |
| ·实验测试仪器及实验系统介绍 | 第44-47页 |
| ·实验测试仪器 | 第44-45页 |
| ·实验原理 | 第45-46页 |
| ·控制信号的编制 | 第46-47页 |
| ·精密驱动器机构性能测试 | 第47-59页 |
| ·箝位特性分析 | 第47-49页 |
| ·步距与分辨率分析 | 第49-53页 |
| ·运动速度分析 | 第53-54页 |
| ·承载能力的测试 | 第54-59页 |
| ·基于LabVIEW 的驱动器闭环反馈控制系统的研究 | 第59-66页 |
| ·虚拟仪器概述 | 第59-60页 |
| ·驱动器闭环控制系统的组成和基本原理 | 第60-63页 |
| ·定位停止闭环控制系统 | 第63-66页 |
| ·定位停止控制系统实验分析 | 第66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第5章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 摘要 | 第73-75页 |
| ABSTRACT | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78页 |