金刚石膜在红外透波窗口中的应用基础研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·本文研究背景 | 第9-11页 |
| ·光学级金刚石膜的研究现状 | 第11-14页 |
| ·光学级金刚石膜的制备现状 | 第11-13页 |
| ·光学级金刚石膜的抛光 | 第13-14页 |
| ·光学级金刚石膜的光学性能测试 | 第14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 高质量金刚石厚膜的沉积实验研究 | 第16-23页 |
| ·金刚石膜的直流等离子体喷射制备技术 | 第16-19页 |
| ·国外研究状况 | 第17-18页 |
| ·国内研究状况 | 第18-19页 |
| ·实验装置及方案 | 第19-20页 |
| ·实验结果及讨论 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 高质量金刚石膜机械抛光的实验研究 | 第23-33页 |
| ·金刚石膜机械抛光的原理 | 第23-24页 |
| ·实验装置及方案 | 第24-26页 |
| ·抛光装置 | 第24-25页 |
| ·机床抛光工艺 | 第25页 |
| ·实验方案 | 第25-26页 |
| ·实验结果及讨论 | 第26-32页 |
| ·成核面和生长面的原始粗糙度 | 第26-27页 |
| ·表面粗糙度的变化 | 第27-30页 |
| ·扫描电镜分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 表面粗糙度对材料红外透波性能的影响 | 第33-44页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·硅酸盐玻璃表面的抛光 | 第34-35页 |
| ·实验装置及方案 | 第34-35页 |
| ·实验结果及讨论 | 第35页 |
| ·硅酸盐玻璃的红外透过率研究 | 第35-41页 |
| ·表面粗糙度对红外透过率的影响 | 第36-39页 |
| ·厚度对红外透过率的影响 | 第39-41页 |
| ·金刚石膜的红外透过率研究 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 结论与展望 | 第44-47页 |
| ·本文工作总结 | 第44-45页 |
| ·进一步研究工作的展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第51页 |
