| 文摘 | 第1-4页 |
| 英文文摘 | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·微光学元件材料的性能概述 | 第7-11页 |
| ·微光学元件材料的光学性能 | 第7-9页 |
| ·微光学元件材料的力学性能 | 第9-10页 |
| ·微光学元件材料的热稳定性和化学稳定性 | 第10-11页 |
| ·微光学元件制作方法概述 | 第11-15页 |
| ·微光学元件传统制作工艺 | 第11-12页 |
| ·溶胶-凝胶法复制技术 | 第12-13页 |
| ·使用具有光敏性的溶胶-凝胶玻璃制作微光学元件 | 第13-15页 |
| ·具有光敏性的溶胶-凝胶玻璃发展概况 | 第15-19页 |
| ·本论文的工作及研究意义 | 第19-20页 |
| 第二章 溶胶-凝胶法制备薄膜概述 | 第20-27页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·溶胶-凝胶概念 | 第20-21页 |
| ·影响溶胶-凝胶过程的主要因素 | 第21-22页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的特点 | 第22页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的基本原理 | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的工艺过程 | 第23-24页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的途径 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法制备光学薄膜的进展 | 第25-27页 |
| ·溶胶-凝胶法制备单组分光学薄膜 | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶法制备有机-无机复合光学薄膜 | 第26-27页 |
| 第三章 HfO_2-SiO_2混合溶胶-凝胶的制备及性能表征 | 第27-38页 |
| ·实验部分 | 第27-31页 |
| ·材料体系的确定 | 第27页 |
| ·所用药品及试剂 | 第27-28页 |
| ·所用仪器及设备 | 第28-29页 |
| ·溶胶-凝胶的制备 | 第29-31页 |
| ·表征技术 | 第31-37页 |
| ·红外光谱分析 | 第31-33页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第33-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第四章 HfO_2-SiO_2凝胶薄膜的制备及性能测试 | 第38-53页 |
| ·HfO_2-SiO_2凝胶薄膜的制备 | 第38-47页 |
| ·涂胶成膜工艺过程 | 第38页 |
| ·基底的清洗 | 第38-39页 |
| ·涂胶 | 第39-43页 |
| ·前烘 | 第43页 |
| ·曝光 | 第43-46页 |
| ·后烘 | 第46-47页 |
| ·HfO_2-SiO_2凝胶膜性能测试 | 第47-52页 |
| ·HfO_2-SiO_2凝胶膜主要光学性能分析 | 第47-49页 |
| ·HfO_2-SiO_2凝胶膜力学性能分析 | 第49-51页 |
| ·HfO_2-SiO_2凝胶膜热稳定性分析 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第五章 HfO_2-SiO_2混合溶胶-凝胶在微光学中的应用 | 第53-62页 |
| ·制备微光学元件的工艺过程 | 第53页 |
| ·利用光敏性制备衍射光栅 | 第53-56页 |
| ·凝胶膜的制备 | 第53-54页 |
| ·成像原理 | 第54页 |
| ·光栅的制备 | 第54-56页 |
| ·利用辐射聚合性制备衍射光栅 | 第56-58页 |
| ·凝胶膜的制备 | 第56页 |
| ·成像原理 | 第56页 |
| ·光栅的制备 | 第56-58页 |
| ·微透镜阵列的制备 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 硕士学位论文期间发表的论文 | 第69-70页 |
| 长春理工大学硕士(或博士)学位论文原创性声明 | 第70页 |
| 长春理工大学学位论文版权使用授权书 | 第70页 |
