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LED微显示器件的设计和隔离沟槽的制作研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-22页
   ·引言第9-10页
   ·微显示器件的兴起和发展第10页
   ·微显示器件的分类和应用领域第10-17页
   ·LED 微显示器件的发展历程和应用领域第17-20页
   ·本论文的研究意义第20-22页
第2章 ALGAINP-LED 微显示器件设计第22-34页
   ·引言第22-23页
   ·ALGAINP 材料的发光特性第23-24页
   ·器件注入电流的空间分布第24-27页
   ·ALGAINP-LED 外延片的结构第27-28页
   ·ALGAINP-LED 微显示器件设计第28-32页
   ·本章小结第32-34页
第3章 隔离沟槽的制作研究第34-58页
   ·引言第34页
   ·掩模版的制作第34-35页
   ·制作隔离沟槽的主要工艺第35-46页
   ·隔离沟槽的制作研究第46-56页
   ·本章小结第56-58页
第4章 总结第58-61页
作者简历第61页
攻读硕士期间发表的学术论文第61-62页

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