摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-9页 |
第1章 绪论 | 第9-22页 |
·引言 | 第9-10页 |
·微显示器件的兴起和发展 | 第10页 |
·微显示器件的分类和应用领域 | 第10-17页 |
·LED 微显示器件的发展历程和应用领域 | 第17-20页 |
·本论文的研究意义 | 第20-22页 |
第2章 ALGAINP-LED 微显示器件设计 | 第22-34页 |
·引言 | 第22-23页 |
·ALGAINP 材料的发光特性 | 第23-24页 |
·器件注入电流的空间分布 | 第24-27页 |
·ALGAINP-LED 外延片的结构 | 第27-28页 |
·ALGAINP-LED 微显示器件设计 | 第28-32页 |
·本章小结 | 第32-34页 |
第3章 隔离沟槽的制作研究 | 第34-58页 |
·引言 | 第34页 |
·掩模版的制作 | 第34-35页 |
·制作隔离沟槽的主要工艺 | 第35-46页 |
·隔离沟槽的制作研究 | 第46-56页 |
·本章小结 | 第56-58页 |
第4章 总结 | 第58-61页 |
作者简历 | 第61页 |
攻读硕士期间发表的学术论文 | 第61-62页 |