| 第一章 引言 | 第1-24页 |
| ·低碎屑激光等离子体光源 | 第6-14页 |
| ·低碎屑激光等离子体软X射线源的特点 | 第14-19页 |
| ·低碎屑激光等离子体光源的应用 | 第19-21页 |
| ·激光等离子体光源辐射机制理论研究状况 | 第21-23页 |
| ·本文研究内容和意义 | 第23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 与软X射线有关的激光与等离子体相互作用 | 第24-64页 |
| ·激光等离子体物理状态描述 | 第24页 |
| ·等离子体对激光能量的吸收 | 第24-27页 |
| ·激光等离子体产生的X射线辐射 | 第27-41页 |
| ·平均原子模型 | 第27-29页 |
| ·平均原子模型离化势的改进公式 | 第29-31页 |
| ·束缚电子布居概率P_n方程组的建立 | 第31-34页 |
| ·碰撞-辐射平衡模型下对P_n方程组的简化及求解 | 第34-37页 |
| ·CR模型下X射线发射速率的求解 | 第37-39页 |
| ·X射线谱线辐射的形状与加宽效应 | 第39-41页 |
| ·电偶极辐射波长及跃迁几率的计算 | 第41-49页 |
| ·单电子原子的Schr(?)dinger方程 | 第41-42页 |
| ·单电子系统的Dirac-Fock方程 | 第42-44页 |
| ·多电子原子的Schr(?)dinger方程 | 第44页 |
| ·多电子系统的Dirac-Fock方程 | 第44-47页 |
| ·辐射跃迁几率 | 第47-49页 |
| ·电偶极辐射波长及跃迁几率的计算结果 | 第49-63页 |
| 本章小结 | 第63-64页 |
| 第三章 液体微滴喷射靶激光等离子体光源 | 第64-79页 |
| ·液体微滴喷射靶LPP光源的工作原理及结构 | 第64-66页 |
| ·团簇靶的形成 | 第66-68页 |
| ·高密度气体靶的产生 | 第68-71页 |
| ·液体微滴喷射靶的形成及特性 | 第71-75页 |
| ·抗腐喷嘴的设计 | 第75-76页 |
| ·打靶激光参数的优化 | 第76-78页 |
| 本章小结 | 第78-79页 |
| 第四章 激光等离子体软X射线光源的光谱探测及测量 | 第79-91页 |
| ·LPP软X射线光源光谱探测和测量装置 | 第79-81页 |
| ·使用通道电子倍增器作为探测器测量光谱强度 | 第81-84页 |
| ·电荷灵敏前置放大器 | 第84-85页 |
| ·线性脉冲整形放大器选择 | 第85-86页 |
| ·脉冲峰值探测器 | 第86-88页 |
| ·PH300脉冲峰值探测器 | 第86-88页 |
| ·负脉冲峰值探测器 | 第88页 |
| ·使用标准探测器的光谱强度测量 | 第88-90页 |
| ·激光等离子体光源光谱强度的计算 | 第90页 |
| 本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 液体微滴喷射靶LPP光源的光谱辐射特性与分析 | 第91-110页 |
| ·液体微滴喷射靶LPP光源的光谱辐射特性 | 第91-95页 |
| ·气体和液体微滴靶LPP光源的EUV辐射分布 | 第95-98页 |
| ·Xe液体微滴靶在13.4nm的转换效率 | 第98-107页 |
| ·Xe靶在13.4nm转换效率的计算 | 第99-104页 |
| ·Xe液体微滴喷射靶在13.4nm转换效率测量 | 第104-107页 |
| ·Xe液体微滴喷射靶LPP光源辐射稳定性和碎屑污染测量 | 第107-109页 |
| 本章小结 | 第109-110页 |
| 第六章 液体微滴靶光源在多层膜反射率测量中的应用 | 第110-117页 |
| 本章小结 | 第116-117页 |
| 第七章 总结 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |
| 作者简历 | 第126页 |
| 在读期间发表的论文 | 第126页 |