| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-15页 |
| ·MEMS 的发展及研究现状 | 第11-13页 |
| ·谐波传动的发展及研究现状 | 第13-15页 |
| ·论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 非均布载荷下机电集成静电谐波传动系统的静力学研究 | 第16-35页 |
| ·工作原理 | 第16-17页 |
| ·柔轮的力学平衡方程 | 第17-20页 |
| ·动力学方程 | 第18-19页 |
| ·几何方程 | 第19-20页 |
| ·弹性方程 | 第20页 |
| ·静电力非均布作用时的柔轮位移 | 第20-23页 |
| ·位移表达式 | 第21-23页 |
| ·非均布载荷下的位移求解 | 第23页 |
| ·采用非均布载荷时传动系统的驱动力矩 | 第23-25页 |
| ·切向力对挠度的影响 | 第25-26页 |
| ·结果与讨论 | 第26-34页 |
| ·采用非均布载荷时位移和电压关系 | 第26-27页 |
| 2 6.2 系统参数及工作电压 | 第27-30页 |
| ·非均布载荷对驱动力矩的影响规律 | 第30-33页 |
| ·切向力对挠度的影响 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 柔轮机电耦合动力学分析 | 第35-55页 |
| ·机电耦合系统动态求解 | 第35-39页 |
| ·模态函数求解 | 第35-37页 |
| ·固有频率求解 | 第37-39页 |
| ·受迫振动分析 | 第39-41页 |
| ·结果分析 | 第41-54页 |
| ·模态分析 | 第41-46页 |
| ·受迫振动 | 第46-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 柔轮静电悬浮 PID 控制 | 第55-72页 |
| ·柔轮静电悬浮 PID 控制系统建模 | 第55-57页 |
| ·PID 控制 | 第57-59页 |
| ·系统 PID 控制参数整定 | 第59-64页 |
| ·PID 控制系统的参数整定方法 | 第59-60页 |
| ·机电集成静电谐波传动系统的 PID 控制分析 | 第60-61页 |
| ·PID 控制系统参数整定 | 第61-62页 |
| ·整定结果分析 | 第62-64页 |
| ·PID 控制系统的参数优化 | 第64-68页 |
| ·系统寻优中的目标函数 | 第65页 |
| ·单纯形寻优方法 | 第65-66页 |
| ·机电集成静电谐波传动系统 PID 控制器的参数优化 | 第66-68页 |
| ·计算机仿真 | 第68-71页 |
| ·仿真技术及 Simulink | 第68-69页 |
| ·仿真模型的建立 | 第69-70页 |
| ·仿真结果 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78页 |