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(001)和(110)表面上薄膜生长特性的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 引言第10-21页
   ·研究背景第10-11页
   ·薄膜生长的实验研究第11-15页
     ·岛形貌的分类第12页
     ·不同基底结构的外延生长第12-15页
   ·薄膜生长的理论研究第15-16页
   ·薄膜生长的模拟研究第16-19页
     ·计算机模拟薄膜生长的模型第16-18页
     ·薄膜生长的计算机模拟方法第18-19页
   ·研究现状及本文的工作第19-21页
第二章 基本理论第21-34页
   ·薄膜生长的原子过程第21-23页
   ·表面原子的扩散类型及薄膜生长模式第23-25页
   ·平均场成核理论第25-27页
   ·岛尺寸分布的标度理论第27-30页
   ·影响成核的因素第30-34页
第三章 模型建立和模拟的实现第34-46页
   ·模拟方法的选择第34-36页
   ·模型的建立第36-41页
     ·蒙特卡罗方法的原理和实现第36-37页
     ·bcc(001)模型第37-39页
     ·fcc(110)模型第39-41页
   ·模拟仿真的实现第41-46页
     ·KMC模拟的考虑因素第41-42页
     ·本模拟采用的结合势的性质第42-44页
     ·模拟相关的数学方法第44-46页
第四章 模拟结果分析与讨论第46-68页
   ·(001)面上岛形貌由紧致向枝晶的转变第46-55页
     ·模拟图展示第46-50页
     ·沉积速率、衬底温度第50-52页
     ·生长率D/F的研究第52-55页
     ·转变温度第55页
   ·(110)基底上模拟研究第55-68页
     ·Ag/Ag(110)岛形貌第56-58页
     ·一维向二维生长的转变第58-62页
     ·模拟结果与实验及其他模拟的对比第62-64页
     ·Ag/Ag(110)上的线缺陷生长第64-65页
     ·Cu/Cu(110)上的生长情况第65-68页
第五章 结论第68-70页
参考文献第70-74页
致谢第74-75页
攻读硕士学位期间发表的论文第75页

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