变面积电容式微机械加速度传感器检测电路的研究
| 内容提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·微机械加速度计 | 第7-13页 |
| ·基本原理 | 第7-10页 |
| ·分类 | 第10-11页 |
| ·性能指标 | 第11-12页 |
| ·应用 | 第12-13页 |
| ·工作原理 | 第13-18页 |
| ·变间距式电容结构 | 第14-16页 |
| ·变面积式电容结构 | 第16-18页 |
| ·本论文主要内容及意义 | 第18-20页 |
| 第二章 检测方案的确定 | 第20-35页 |
| ·常用开环检测电路 | 第20-25页 |
| ·谐振检测电路 | 第20页 |
| ·环形二极管检测电路 | 第20-23页 |
| ·开关电容检测电路 | 第23-24页 |
| ·电容电桥法检测电路 | 第24-25页 |
| ·单载波和双载波调制型检测电路 | 第25-30页 |
| ·双载波单路积分调制型检测电路 | 第25-26页 |
| ·单载波双路积分调制型检测电路 | 第26-30页 |
| ·等效电容模型分析 | 第30-32页 |
| ·载波波形的选择 | 第32-33页 |
| ·载波频率的确定 | 第33-35页 |
| 第三章 电路各功能模块的设计 | 第35-59页 |
| ·载波产生电路 | 第35-40页 |
| ·RC 桥式振荡电路 | 第35-36页 |
| ·石英晶体振荡器 | 第36页 |
| ·直接数字频率合成技术DDS | 第36-40页 |
| ·电荷放大器及带通滤波器的设计 | 第40-45页 |
| ·相敏解调模块的设计 | 第45-51页 |
| ·末级低通滤波器和直流放大电路设计 | 第51-54页 |
| ·数据采集和显示 | 第54-55页 |
| ·程序流程 | 第55页 |
| ·电路性能影响因素的分析 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 检测电路性能测试 | 第59-66页 |
| ·模拟测试 | 第59-61页 |
| ·实际测试 | 第61-64页 |
| ·性能分析 | 第64-66页 |
| 第五章 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 摘要 | 第71-73页 |
| Abstract | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
