可调波长与带宽的光学器件镀膜技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-10页 |
| ·国内研究现状 | 第9-10页 |
| ·国外研究现状 | 第10页 |
| ·任务的提出及方案的确定 | 第10-12页 |
| 第二章 膜系计算的理论基础 | 第12-19页 |
| ·膜系等效折射率原理 | 第12-13页 |
| ·截止带宽度计算原理 | 第13-14页 |
| ·截止带的展宽 | 第14-15页 |
| ·通带波纹的压缩 | 第15-19页 |
| 第三章 膜系设计 | 第19-29页 |
| ·短波通滤光片的基本要求 | 第19页 |
| ·膜料的选择 | 第19-22页 |
| ·透明度 | 第19-20页 |
| ·折射率 | 第20页 |
| ·机械牢固度和化学稳定性 | 第20-21页 |
| ·膜料的分析选择 | 第21-22页 |
| ·材料实际折射率的测定 | 第22页 |
| ·膜系设计 | 第22-29页 |
| ·通带展宽膜系设计 | 第22-25页 |
| ·截止带展宽膜系设计 | 第25-29页 |
| 第四章 制备工艺 | 第29-36页 |
| ·真空镀膜机原理及实验装置 | 第29-30页 |
| ·晶控法监控原理 | 第30-32页 |
| ·工艺因子的确定 | 第32-33页 |
| ·薄膜厚度的均匀性 | 第33-34页 |
| ·膜系制备工艺过程 | 第34-36页 |
| 第五章 测量结果及分析 | 第36-43页 |
| ·产品的质量检测 | 第36-39页 |
| ·光学指标的检测 | 第36-38页 |
| ·光洁度的测试 | 第38页 |
| ·牢固度牢固度测试 | 第38页 |
| ·化学稳定性测试 | 第38-39页 |
| ·半波孔产生的原因 | 第39-40页 |
| ·膜厚控制误差 | 第39页 |
| ·膜层折射率非均匀性 | 第39-40页 |
| ·工艺因素对测试结果的影响 | 第40-41页 |
| ·长波通短波通组合测试曲线 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
