| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1. 绪论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·大口径光学平面检测的研究现状 | 第7-9页 |
| ·大口径光学平面检测技术概述 | 第9-16页 |
| ·大口径平面干涉仪直接测量法 | 第9-10页 |
| ·大口径平面干涉仪的原理光路 | 第9页 |
| ·大口径平面干涉仪在测量大口径平面镜上的应用 | 第9-10页 |
| ·子孔径拼接法 | 第10-12页 |
| ·子孔径拼接法原理概述 | 第10-11页 |
| ·子孔径拼接法在大口径光学平面测量上的应用 | 第11-12页 |
| ·瑞奇—康芒法 | 第12-14页 |
| ·瑞奇—康芒法在刀口阴影法检验平面上的应用 | 第12-14页 |
| ·瑞奇—康芒法在干涉仪测量平面上的应用 | 第14页 |
| ·其它可用于大口径平面镜检测的方法 | 第14-16页 |
| ·五棱镜扫描法 | 第14-15页 |
| ·斜入射法 | 第15-16页 |
| ·任务来源 | 第16页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2. 瑞奇-康芒法的检测原理研究 | 第17-30页 |
| ·瑞奇—康芒检验原理概述 | 第17-21页 |
| ·瑞奇—康芒法检验光路 | 第17-18页 |
| ·待测平面矢高的计算方法 | 第18-19页 |
| ·待测平面面形偏差的拟合方法 | 第19-21页 |
| ·瑞奇—康芒检验中平面面形偏差的计算方法 | 第21-29页 |
| ·瑞奇—康芒检验中平面面形偏差与光学系统波像差间的影响函数 | 第21-23页 |
| ·前五阶21项Zernike多项式表示的面形偏差与波像差间的关系式 | 第23-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3. Φ1.1m平面镜的瑞奇—康芒检验模拟 | 第30-44页 |
| ·ZEMAX光学设计软件简介 | 第30页 |
| ·检测光路的初始结构设计 | 第30-31页 |
| ·Φ1.1m平面镜的面形偏差模拟 | 第31-38页 |
| ·光学表面的面形偏差种类 | 第31-32页 |
| ·矢高面的检测结果模拟 | 第32-34页 |
| ·像散面的检测结果模拟 | 第34-38页 |
| ·瑞奇角与检测结果中像差项的关系模拟 | 第38-43页 |
| ·瑞奇角的计算 | 第38-39页 |
| ·不同瑞奇角下的系统波像差模拟 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 4. 1.1m平面镜的瑞奇—康芒检验 | 第44-56页 |
| ·Φ1.1m平面镜的检测方案 | 第44-47页 |
| ·Zygo干涉仪采用的瑞奇—康芒检验方案 | 第44-45页 |
| ·Veeco干涉仪采用的瑞奇—康芒检验方案 | 第45-46页 |
| ·Φ1.1m平面镜检测方案的选取 | 第46-47页 |
| ·Φ75mm平面镜实验及结果分析 | 第47-50页 |
| ·实验步骤与注意事项 | 第47-48页 |
| ·实验的准备工作 | 第47-48页 |
| ·实验过程中的注意事项 | 第48页 |
| ·实验结果与误差分析 | 第48-50页 |
| ·Φ1.1m平面镜的检测结果及误差分析 | 第50-55页 |
| ·Φ1.1m平面镜的装调机构简介 | 第50-52页 |
| ·检测过程和注意事项 | 第52-53页 |
| ·检测前的准备工作 | 第52页 |
| ·检测过程 | 第52-53页 |
| ·检测过程中的注意事项 | 第53页 |
| ·检测结果处理与误差分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5. 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·本论文主要工作 | 第56页 |
| ·待解决的问题 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |