平面拼接干涉仪的子孔径扫描定位系统
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·子孔径拼接技术 | 第8-10页 |
| ·子孔径拼接技术原理 | 第8页 |
| ·子孔径拼接技术国内外发展现状 | 第8-10页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第10-11页 |
| 2 精密运动控制系统的研究 | 第11-29页 |
| ·运动控制系统的位置检测技术 | 第11-14页 |
| ·直线光栅尺 | 第11-13页 |
| ·光电编码器 | 第13-14页 |
| ·运动控制系统的驱动元件 | 第14-19页 |
| ·步进电机 | 第14-17页 |
| ·伺服电机 | 第17-19页 |
| ·运动控制系统的机械传动装置 | 第19-21页 |
| ·滑动螺旋传动与滑动导轨 | 第19-20页 |
| ·滚动螺旋传动与滚动导轨 | 第20-21页 |
| ·可编程逻辑控制器PLC | 第21-27页 |
| ·PLC控制系统 | 第21-22页 |
| ·PLC的基本组成 | 第22-25页 |
| ·PLC的工作原理 | 第25-26页 |
| ·国内外PLC产品介绍 | 第26-27页 |
| ·机电控制系统选型的确定 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 平面扫描拼接干涉仪硬件平台设计 | 第29-34页 |
| ·设计要求 | 第29-31页 |
| ·FSI的主要技术指标 | 第29页 |
| ·驱动系统的详细技术指标 | 第29-30页 |
| ·干涉仪稳定性要求及对外观设计要求 | 第30-31页 |
| ·二维移动架的设计方案 | 第31-32页 |
| ·紧凑型干涉仪的设计 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 二维移动架的软件设计 | 第34-44页 |
| ·PLC指令的编写 | 第34-40页 |
| ·Ladder Master编程软件介绍 | 第34-35页 |
| ·PLC梯形图主要实现功能 | 第35-40页 |
| ·串口指令的编写 | 第40-43页 |
| ·MSComm控件简介 | 第40页 |
| ·MOPO程序说明 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 实验结果分析 | 第44-55页 |
| ·导轨的直线性调试 | 第44-45页 |
| ·利用图像处理技术的子孔径位置标定 | 第45-49页 |
| ·振动分析 | 第49-51页 |
| ·子孔径拼接测试结果 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 6 总结 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
