基于白光相移技术三维微观表面形貌测量的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第13-15页 |
| ·三维表面形貌测量方法的比较 | 第15-16页 |
| ·三维表面粗糙度评定参数 | 第16-19页 |
| ·幅度参数 | 第17-18页 |
| ·综合参数 | 第18页 |
| ·其他参数 | 第18-19页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 白光相移干涉理论基础 | 第20-33页 |
| ·白光干涉原理 | 第20页 |
| ·相移干涉术原理在测量表面三维形貌中的应用 | 第20-29页 |
| ·干涉显微镜 | 第21-22页 |
| ·步进相移干涉术原理 | 第22-24页 |
| ·相位提取算法 | 第24-27页 |
| ·相位解包裹算法 | 第27-29页 |
| ·白光干涉法 | 第29-32页 |
| ·白光相关峰探测法 | 第29页 |
| ·白光相移干涉法 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 测量系统的原理及其组成 | 第33-43页 |
| ·测量系统的原理 | 第33-34页 |
| ·系统的测量过程 | 第34-35页 |
| ·微位移系统 | 第35-38页 |
| ·微位移驱动器 | 第36页 |
| ·压电陶瓷误差分析 | 第36-37页 |
| ·压电陶瓷线性区域测试及选定 | 第37-38页 |
| ·系统软件设计 | 第38-42页 |
| ·图像采集软件设计 | 第38-40页 |
| ·图像数据处理软件设计 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 基准面的评定及仿真 | 第43-62页 |
| ·三维表面粗糙度的评定 | 第43-50页 |
| ·表面形貌评定方法 | 第45-46页 |
| ·建立基准面的方法 | 第46-50页 |
| ·高斯评定基准 | 第50-57页 |
| ·基准面的建立以及粗糙度的分离 | 第50-51页 |
| ·高斯滤波稳健处理 | 第51-53页 |
| ·三维表面粗糙度评定基准数学模型 | 第53-54页 |
| ·三维表面粗糙度高斯评定基准 | 第54-55页 |
| ·高斯评定基准的快速算法 | 第55-57页 |
| ·仿真与结果 | 第57-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
