| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| CONTENTS | 第12-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第15-17页 |
| ·表面测量技术的研究现状及发展趋势 | 第17-27页 |
| ·表面形貌的接触式测量方法 | 第18-23页 |
| ·表面形貌的光学测量方法 | 第23-25页 |
| ·扫描探针显微镜法 | 第25-26页 |
| ·各种测量方法的比较 | 第26-27页 |
| ·表面粗糙度、波纹度、形状分离技术的发展简述 | 第27-29页 |
| ·本课题的来源及研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 球面光栅干涉仪的理论研究 | 第31-49页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·球面正弦相位光栅的标量衍射特性 | 第31-44页 |
| ·球面正弦相位光栅的复振幅透过率函数 | 第32-33页 |
| ·球面正弦相位光栅的菲涅耳衍射特性 | 第33-40页 |
| ·球面正弦相位光栅的夫琅禾费衍射特性 | 第40-44页 |
| ·球面光栅干涉测量的原理 | 第44-48页 |
| ·凸透镜在球面光栅干涉仪中的作用 | 第44-45页 |
| ·球面光栅干涉仪的测量原理分析 | 第45-47页 |
| ·实验验证 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 球面光栅干涉仪的光路结构及分析 | 第49-64页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·光栅移动偏差对干涉条纹的影响 | 第49-54页 |
| ·光栅旋转对干涉条纹的影响 | 第49-52页 |
| ·光栅平移对干涉条纹的影响 | 第52-54页 |
| ·一种对光栅偏摆不敏感的球面光栅干涉仪光路结构 | 第54-57页 |
| ·猫眼逆反射器的光学特性 | 第54-55页 |
| ·采用猫眼逆反射器的球面光栅干涉仪光路结构 | 第55-57页 |
| ·光栅干涉仪的光路分析 | 第57-63页 |
| ·光栅移动偏差对干涉条纹的影响分析 | 第57-60页 |
| ·猫眼离焦失调对干涉条纹的影响分析 | 第60-61页 |
| ·实验及分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 细分方法及细分误差的分析与补偿 | 第64-87页 |
| ·引言 | 第64-65页 |
| ·微机细分法的误计数问题 | 第65-67页 |
| ·只读存储器细分法研究 | 第67-71页 |
| ·只读存储器细分法原理 | 第67-69页 |
| ·速度及细分倍数分析 | 第69-71页 |
| ·只读存储器细分法细分误差分析 | 第71-79页 |
| ·直流漂移对细分精度的影响 | 第73-74页 |
| ·不等幅误差对细分精度的影响 | 第74-75页 |
| ·非正交误差对细分精度的影响 | 第75-76页 |
| ·奇次谐波对细分精度的影响 | 第76-79页 |
| ·偶次谐波对细分精度的影响 | 第79页 |
| ·细分误差的一种实时补偿算法 | 第79-85页 |
| ·直流漂移误差、不等幅误差和非正交误差的分步补偿方法 | 第80-84页 |
| ·实验验证 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第5章 大量程触针式传感器的校准方法 | 第87-100页 |
| ·引言 | 第87页 |
| ·大量程触针式传感器的非线性问题 | 第87-91页 |
| ·杠杆机构导致的测量信号畸变 | 第88-89页 |
| ·触针针尖半径不为零导致的测量信号畸变 | 第89-90页 |
| ·振动和噪声对校准的影响 | 第90-91页 |
| ·大量程触针式传感器的校准方法 | 第91-93页 |
| ·实验验证 | 第93-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第6章 分离表面粗糙度、波纹度、形状的滤波方法 | 第100-117页 |
| ·引言 | 第100-101页 |
| ·表面粗糙度、波纹度、形状滤波器 | 第101-112页 |
| ·高斯滤波器的逼近实现方法 | 第101-106页 |
| ·粗糙度、波纹度、形状的滤波分离方法 | 第106-109页 |
| ·实验验证 | 第109-112页 |
| ·三维表面高斯滤波快速算法 | 第112-116页 |
| ·二维高斯滤波器的权函数 | 第113页 |
| ·二维高斯滤波器的实现 | 第113-115页 |
| ·仿真实验 | 第115-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第127-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 个人简历 | 第131页 |