| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·本课题的背景及研究意义 | 第7页 |
| ·薄膜厚度检测在国内外发展概况 | 第7-13页 |
| ·探针测量法 | 第8-10页 |
| ·高精度显微镜法 | 第10-11页 |
| ·光学测量法 | 第11-13页 |
| ·本文采用方法 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-15页 |
| 第二章 SPR检测金属薄膜厚度的原理 | 第15-26页 |
| ·SPR效应原理 | 第15-18页 |
| ·金属薄膜特性 | 第15-16页 |
| ·SPR效应 | 第16-18页 |
| ·SPR效应的传感结构 | 第18页 |
| ·金属薄膜厚度参数分析 | 第18-20页 |
| ·厚度与强度的关系 | 第18-20页 |
| ·厚度与相位的关系 | 第20页 |
| ·检测方案 | 第20-25页 |
| ·反射光强度检测方案 | 第21页 |
| ·反射光相位检测方案 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 光学系统设计 | 第26-42页 |
| ·光源的选择 | 第26-27页 |
| ·传感棱镜及扫描驱动系统 | 第27-29页 |
| ·Mach-Zehnder干涉结构元器件选择 | 第29-33页 |
| ·图像采集模块 | 第33-36页 |
| ·摄像机的选择 | 第33-34页 |
| ·镜头的选择 | 第34-35页 |
| ·图像采集卡 | 第35-36页 |
| ·光学系统 | 第36-37页 |
| ·Mach-Zehnder干涉结构调整步骤及条纹采集结果 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 系统调试及实验结果分析 | 第42-58页 |
| ·图像处理算法研究 | 第42-47页 |
| ·数据处理方法研究 | 第47-48页 |
| ·系统调试及实验结果 | 第48-54页 |
| ·标定方案设计 | 第54页 |
| ·实验结果误差分析 | 第54-57页 |
| ·原理误差 | 第55-56页 |
| ·光源稳频性能引起的误差 | 第56页 |
| ·棱镜面型精度引起的误差 | 第56-57页 |
| ·其他因素引起的误差 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结和展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |