| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 概述 | 第13-31页 |
| ·研究背景 | 第13-27页 |
| ·射频感应耦合等离子体及其应用 | 第13-14页 |
| ·其他几种主要等离子体产生方式 | 第14-17页 |
| ·射频感应耦合等离子体发生装置的改良 | 第17-18页 |
| ·射频感应耦合等离子体中的物理前沿 | 第18-22页 |
| ·射频感应耦合等离子体中的诊断方法 | 第22-27页 |
| ·研究内容 | 第27-31页 |
| ·碰撞条件下多凹腔型感应耦合等离子体组合装置 | 第27-28页 |
| ·碰撞条件下多凹腔型感应耦合等离子体组合实验 | 第28-29页 |
| ·碰撞条件下反常趋肤效应实验 | 第29页 |
| ·碰撞条件下的静电单探针诊断和连续光谱诊断 | 第29页 |
| ·碰撞条件下凹腔型感应耦合等离子体基础理论 | 第29-31页 |
| 第二章 碰撞条件下单凹腔型感应耦合等离子体性质 | 第31-55页 |
| ·多凹腔型感应耦合等离子体实验装置 | 第31-39页 |
| ·真空放电室 | 第31-33页 |
| ·射频电源与射频天线 | 第33-35页 |
| ·等离子体诊断方法 | 第35-39页 |
| ·放电线圈附近的电磁场分布 | 第39-41页 |
| ·角向感应电场 | 第39-40页 |
| ·等离子体吸收功率密度 | 第40-41页 |
| ·等离子体密度和电子温度分布 | 第41-48页 |
| ·源区与扩散区 | 第41-42页 |
| ·碰撞条件下凹腔型感应耦合等离子体的独立性 | 第42-43页 |
| ·不同功率下的分布变化 | 第43-45页 |
| ·不同气压下的分布变化 | 第45-46页 |
| ·等离子体密度分布特征长度 | 第46-48页 |
| ·单凹腔型感应耦合等离子体模型 | 第48-53页 |
| ·损失与产生 | 第48-49页 |
| ·扩散区的线性损失—扩散模型 | 第49-51页 |
| ·源区的线性扩散模型 | 第51-53页 |
| ·模型小结 | 第53页 |
| ·本章总结 | 第53-55页 |
| 第三章 碰撞条件下多凹腔型感应耦合等离子体组合性质 | 第55-87页 |
| ·实验安排 | 第55-56页 |
| ·多凹腔型射频感应耦合等离子体组合的密度分布 | 第56-64页 |
| ·两线圈连线上的密度分布 | 第57-59页 |
| ·两线圈连线的垂直线上的密度分布 | 第59-61页 |
| ·四线圈中垂面上的密度分布 | 第61-64页 |
| ·实验小结 | 第64页 |
| ·非线性叠加效应 | 第64-75页 |
| ·双凹腔型感应耦合等离子体叠加效应 | 第64-70页 |
| ·四凹腔型感应耦合等离子体叠加效应 | 第70-74页 |
| ·实验小结 | 第74-75页 |
| ·多凹腔型感应耦合等离子体模型 | 第75-84页 |
| ·线性模型 | 第75-77页 |
| ·非线性模型 | 第77-84页 |
| ·本章总结 | 第84-87页 |
| 第四章 碰撞条件下的反常趋肤效应 | 第87-125页 |
| ·凹腔型感应耦合等离子体中电磁场的磁探针诊断 | 第87-103页 |
| ·磁探针结构和测量步骤 | 第87-90页 |
| ·测量原理和计算方法 | 第90-94页 |
| ·幅度和相位的读取 | 第94-97页 |
| ·校准和误差传导过程 | 第97-102页 |
| ·磁探针诊断小结 | 第102-103页 |
| ·趋肤和反常趋肤现象 | 第103-108页 |
| ·轴向磁场分布 | 第103-104页 |
| ·角向电场分布 | 第104-105页 |
| ·角向传导电流分布 | 第105-106页 |
| ·等离子体吸收功率密度分布 | 第106-107页 |
| ·与其它实验对比 | 第107-108页 |
| ·不同放电参数下的反常趋肤现象 | 第108-113页 |
| ·不同功率下的反常趋肤效应 | 第108-111页 |
| ·不同气压下的反常趋肤效应 | 第111-113页 |
| ·实验小结 | 第113页 |
| ·粘滞流体模型 | 第113-123页 |
| ·基本模型 | 第114-118页 |
| ·冷等离子体近似 | 第118-119页 |
| ·反常趋肤效应 | 第119-122页 |
| ·模型与实验的对比 | 第122-123页 |
| ·模型小结 | 第123页 |
| ·本章总结 | 第123-125页 |
| 第五章 碰撞等离子体中的静电单探针诊断和连续光谱诊断 | 第125-157页 |
| ·碰撞条件下感应耦合等离子体中的电子能量分布测量 | 第125-148页 |
| ·电子能量分布函数 | 第125-126页 |
| ·单探针探针曲线及计算电子能量分布 | 第126-131页 |
| ·EEDF测量中的探针曲线的数值滤波 | 第131-132页 |
| ·单探针测量回路 | 第132-134页 |
| ·EEDF测量中的问题及现象 | 第134-144页 |
| ·适用于碰撞条件下的带悬浮极的单探针 | 第144-148页 |
| ·静电单探针诊断方法小结 | 第148页 |
| ·碰撞条件下凹腔型感应耦合等离子体的连续谱诊断 | 第148-157页 |
| ·基本模型 | 第149-151页 |
| ·实验步骤和数据处理 | 第151-153页 |
| ·测量结果及分析 | 第153-156页 |
| ·连续谱诊断小结 | 第156-157页 |
| 第六章 总结及展望 | 第157-161页 |
| ·碰撞条件下多凹腔型感应耦合等离子体组合实验 | 第157-158页 |
| ·碰撞条件下反常趋肤效应实验 | 第158-159页 |
| ·碰撞条件下的静电单探针诊断和连续光谱诊断 | 第159-160页 |
| ·碰撞条件下凹腔型感应耦合等离子体基础理论 | 第160-161页 |
| 参考文献 | 第161-171页 |
| 附录 | 第171-217页 |
| 碰撞条件下凹腔型感应耦合等离子体基础理论 | 第171-206页 |
| ·电磁波与等离子体的能量耦合 | 第171-182页 |
| ·欧姆加热和趋肤效应 | 第171-174页 |
| ·反常趋肤效应 | 第174-182页 |
| ·等离子体的产生和消耗 | 第182-188页 |
| ·等离子体的产生 | 第182-186页 |
| ·等离子体的消耗 | 第186-188页 |
| ·等离子体的扩散和运输 | 第188-191页 |
| ·单粒子扩散 | 第188-189页 |
| ·双极扩散 | 第189-190页 |
| ·变碰撞频率扩散 | 第190-191页 |
| ·凹腔型感应耦合等离子体模型 | 第191-204页 |
| ·电路模型 | 第191-195页 |
| ·线性扩散模型 | 第195-200页 |
| ·多步电离模型 | 第200-204页 |
| ·本章总结 | 第204-206页 |
| Ar电子与中性粒子的弹性碰撞截面 | 第206-207页 |
| Ar电子与中性粒子的电离碰撞截面 | 第207-208页 |
| Ar电子与中性粒子的各种激发碰撞截面和总激发碰撞截面 | 第208-209页 |
| Ar中的各种反应速率常数的阿累尼乌斯近似表达式 | 第209-211页 |
| 传输线原理 | 第211-217页 |
| ·传输线的电路模型及参数 | 第211-214页 |
| ·传输线上的电波传播 | 第212-213页 |
| ·无损传输线 | 第213-214页 |
| ·有载的无损传输线 | 第214-217页 |
| 致谢 | 第217-219页 |
| 在读期间发表的学术论文与研究成果 | 第219页 |
