| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| ·纳米材料 | 第11-12页 |
| ·氧化锌材料的基本性质和研究意义 | 第12-14页 |
| ·纳米结构ZnO 器件的研究进展 | 第14-26页 |
| ·纳米结构ZnO 发光器件研究进展 | 第15-17页 |
| ·ZnO 纳米线压电发电机研究进展 | 第17-19页 |
| ·纳米结构ZnO 在太阳能电池方面的应用 | 第19-22页 |
| ·纳米结构ZnO 在气体传感器方面的应用 | 第22-24页 |
| ·ZnO 纳米线紫外探测器的研究进展 | 第24-26页 |
| ·本论文的主要内容 | 第26-29页 |
| 第2章 ZnO 纳米结构的制备表征 | 第29-47页 |
| ·ZnO 纳米结构和薄膜的制备及其光刻工艺技术 | 第29-35页 |
| ·气相沉积法 | 第29-30页 |
| ·电化学沉积法 | 第30-31页 |
| ·水热合成法 | 第31-32页 |
| ·ZnO 薄膜的生长 | 第32-34页 |
| ·传统湿法光刻工艺 | 第34-35页 |
| ·材料的表征及测试手段 | 第35-45页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM）及能谱分析仪（EDS） | 第36-38页 |
| ·透射电子显微镜（TEM） | 第38-39页 |
| ·微区光致发光（PL） | 第39-40页 |
| ·X 射线衍射（XRD） | 第40-43页 |
| ·光响应谱的测试 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 侧向生长 ZnO 纳米线紫外探测器的制作和性能研究 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·不同生长方向ZnO 纳米线的生长 | 第48-52页 |
| ·磁控溅射生长ZnO 薄膜的腐蚀 | 第49-50页 |
| ·不同生长方向ZnO 纳米线的生长 | 第50-52页 |
| ·侧向生长ZnO 纳米线紫外探测器性能的研究 | 第52-55页 |
| ·侧向生长ZnO 纳米线紫外探测器的制作及电学性能 | 第52-53页 |
| ·侧向生长ZnO 纳米线光响应和光致发光的研究 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第4章 介电泳方法制作 ZnO 纳米线紫外探测器及其性能研究 | 第57-71页 |
| ·引言 | 第57-58页 |
| ·用介电泳方法定向排列ZnO 纳米线及器件制作 | 第58-63页 |
| ·超长ZnO 纳米线的生长 | 第58-59页 |
| ·介电泳方法定向排列ZnO 纳米线制作纳米线紫外探测器 | 第59-61页 |
| ·介电泳方法在不同电极图形上排列ZnO 纳米线 | 第61-63页 |
| ·介电泳方法制作ZnO 纳米线紫外探测器性能研究 | 第63-69页 |
| ·电学性质的研究 | 第64-65页 |
| ·光响应谱的特性 | 第65-67页 |
| ·时间分辨的光响应曲线分析 | 第67-68页 |
| ·温度的稳定性研究 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 ZnO 纳米线的表面修饰和退火处理对紫外探测器性能影响的探索 | 第71-83页 |
| ·引言 | 第71-72页 |
| ·银纳米粒子修饰对ZnO 纳米线紫外探测器性能的影响 | 第72-77页 |
| ·银纳米粒子修饰的ZnO 纳米线制备 | 第73-74页 |
| ·银纳米粒子修饰对ZnO 纳米线形貌的分析 | 第74-75页 |
| ·银纳米粒子修饰对ZnO 纳米线光致发光的影响 | 第75-76页 |
| ·银纳米粒子修饰对ZnO 纳米线紫外探测性能的影响 | 第76-77页 |
| ·退火处理对ZnO 纳米线紫外探测器性能的影响 | 第77-82页 |
| ·ZnO 纳米线的退火处理 | 第78-79页 |
| ·退火处理对ZnO 纳米线光致发光性能的影响 | 第79-80页 |
| ·退火处理的ZnO 纳米线紫外探测器的制作 | 第80页 |
| ·后退火处理对ZnO 纳米线光响应时间的影响 | 第80-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第6章 结论与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第93-94页 |
| 指导教师及作者简介 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
