铁电存储器关键工艺与器件建模研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-36页
·铁电材料基本特性	第11-20页
·铁电存储技术概述	第20-30页
·铁电存储器研究中的重要课题	第30-34页
·本文主要研究内容	第34-36页
2 PZT与BPO薄膜低温制备工艺研究	第36-56页
·高密度靶材的制备	第36-43页
·PZT薄膜溅射工艺优化	第43-47页
·BPO薄膜溅射工艺优化	第47-51页
·BPO和Pt电极效果比较	第51-56页
3 BPO电极对PZT薄膜微观结构及电学特性影响	第56-79页
·微观结构、择优取向和表面形貌分析	第56-61页
·残余应力分析	第61-67页
·铁电和介电特性分析	第67-73页
·结构精修分析	第73-79页
4 基于极化反转函数的铁电电容器件模型	第79-95页
·铁电模型物理基础	第79-84页
·铁电电容的极化反转函数	第84-88页
·参数提取和模型验证	第88-91页
·将模型嵌入EDA工具的方法	第91-95页
5 铁电电容模型应用实例	第95-113页
·将模型用来解释疲劳相关的印记现象	第95-106页
·将模型用于优化铁电存储器核心单元电路参数	第106-113页
6 铁电存储器氢隔离工艺研究	第113-125页
·氢隔离层的刻蚀工艺	第114-117页
·Al_2O_3氢隔离层的效果	第117-120页
·和氢隔离工艺有关的应力匹配问题	第120-125页
7 全文总结	第125-127页
致谢	第127-128页
参考文献	第128-143页
附录1 陶瓷靶材正交试验表	第143-145页
附录2 攻读博士学位期间发表和待发表的论文目录	第145-147页
附录3 已授权和申请中的专利	第147页