| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 | 第8-16页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 微流控芯片材料 | 第9-12页 |
| 1.2.1 硅材料 | 第10页 |
| 1.2.2 石英和玻璃 | 第10页 |
| 1.2.3 高分子聚合物 | 第10-12页 |
| 1.3 微流控芯片制作技术 | 第12-15页 |
| 1.3.1 腐蚀 | 第12-13页 |
| 1.3.2 激光烧蚀 | 第13页 |
| 1.3.3 热压法 | 第13-14页 |
| 1.3.4 LIGA法 | 第14页 |
| 1.3.5 模塑法 | 第14-15页 |
| 1.4 光纤传感器 | 第15页 |
| 1.4.1 长周期光栅传感器 | 第15页 |
| 1.4.2 SPR光纤传感器 | 第15页 |
| 1.5 本论文的主要工 | 第15-16页 |
| 第二章 PMMA微流控芯片的制作 | 第16-28页 |
| 2.1 PMMA简介 | 第16-17页 |
| 2.2 PMMA芯片设计 | 第17-19页 |
| 2.3 CO_2激光器直写芯片加工 | 第19-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 PDMS微流控芯片的制作 | 第28-36页 |
| 3.1 PDMS简介 | 第28页 |
| 3.2 PDMS微流控芯片加工 | 第28-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 微流控芯片与光纤传感器检测系统搭建 | 第36-47页 |
| 4.1 PMMA微流控芯片与SPR传感器的封合 | 第36-37页 |
| 4.2 PMMA微流控芯片与SPR传感器系统的搭建 | 第37-40页 |
| 4.3 PDMS微流控芯片与长周期光栅传感器系统的封合 | 第40-42页 |
| 4.4 PDMS微流控芯片与长周期光栅传感器系统的检测 | 第42-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 结论与展望 | 第47-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第52页 |
