柔性基板卷到卷输送中横向振动建模与控制
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第10-12页 |
| 1.3 运动基板横向振动研究综述 | 第12-23页 |
| 1.4 本文主要研究工作 | 第23-26页 |
| 2 柔性基板横向振动动力学建模及求解 | 第26-40页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 运动基板动力学模型 | 第26-30页 |
| 2.3 横向振动微分方程求解 | 第30-35页 |
| 2.4 振动频率及模态形状计算 | 第35-37页 |
| 2.5 动态位移时间响应计算 | 第37-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 3 非均匀张力作用下柔性基板横向振动特性 | 第40-54页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 非均匀分布张力作用下基板动力学方程 | 第40-43页 |
| 3.3 横向振动偏微分方程离散求解 | 第43-45页 |
| 3.4 数值仿真及结果讨论 | 第45-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 中间弹性支撑下柔性基板横向振动特性 | 第54-66页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 中间弹性支承下基板动力学方程 | 第54-56页 |
| 4.3 横向振动偏微分方程离散求解 | 第56-58页 |
| 4.4 数值仿真及结果讨论 | 第58-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 柔性基板卷到卷输送中横向振动控制 | 第66-83页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 受控下运动基板横向振动方程 | 第66-70页 |
| 5.3 横向振动LQR控制 | 第70-76页 |
| 5.4 横向振动LQG控制 | 第76-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-83页 |
| 6 基于横向振动频率检测的基板张力估计 | 第83-97页 |
| 6.1 引言 | 第83-84页 |
| 6.2 振动频率、基板张力及运动速度拟合公式 | 第84-86页 |
| 6.3 基板张力实验测量及对比 | 第86-96页 |
| 6.4 本章小结 | 第96-97页 |
| 7 总结与展望 | 第97-100页 |
| 7.1 全文总结 | 第97-99页 |
| 7.2 工作展望 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-114页 |
| 附录Ⅰ 攻读博士期间所获成果 | 第114-115页 |
