| 作者简介 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| ·研究背景及意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究概况 | 第11-22页 |
| ·基片缺陷的检测及处理方法的研究状况 | 第11-14页 |
| ·涂层及微粗糙基底散射的研究状况 | 第14-16页 |
| ·小粒子光散射的研究状况 | 第16-19页 |
| ·激光波束作用下粒子散射特性和辐射力的研究状况 | 第19-22页 |
| ·论文主要内容及框架 | 第22-25页 |
| ·论文创新点 | 第25-28页 |
| 第二章 微粗糙基底与涂层的光散射 | 第28-44页 |
| ·双向反射分布函数的基本理论 | 第28-30页 |
| ·双向反射分布函数的定义 | 第28-29页 |
| ·双向反射分布函数坐标定义和偏振特性 | 第29-30页 |
| ·双向反射分布函数的性质 | 第30页 |
| ·散射场的偏振及散射特性描述 | 第30-32页 |
| ·同偏振与交叉偏振简介 | 第30-31页 |
| ·散射矩阵 | 第31-32页 |
| ·基底及涂层的光散射分析 | 第32-37页 |
| ·无涂覆基片基于微扰理论的光散射 | 第32-35页 |
| ·有涂覆基片中涂层及基底间的光散射 | 第35-37页 |
| ·数值计算 | 第37-41页 |
| ·s偏振下涂层相关度及材质对基片光散射的影响 | 第37-40页 |
| ·p偏振下微粗糙基底上涂层的各因素对基片光散射的影响 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-44页 |
| 第三章 基片与瑞利近似缺陷粒子的复合光散射 | 第44-56页 |
| ·基片表面及亚表面缺陷类型 | 第44页 |
| ·基片与上方瑞利近似粒子光散射分析 | 第44-47页 |
| ·基片与上方瑞利近似缺陷粒子复合散射模型 | 第44-45页 |
| ·复合散射场分析 | 第45-47页 |
| ·基片亚表面粒子瑞利近似光散射特性 | 第47-49页 |
| ·数值计算与结果讨论 | 第49-54页 |
| ·基片与瑞利缺陷粒子的光散射二维分析 | 第49-52页 |
| ·不同散射机理下光散射三维分析 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 基片及上方回转椭球冗余粒子的复合光散射 | 第56-66页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·BV理论在基片上方回转椭球冗余粒子模型中的应用 | 第56-60页 |
| ·回转椭球体粒子形态 | 第56-57页 |
| ·BV理论简介 | 第57-58页 |
| ·基片及缺陷粒子复合散射分析 | 第58-60页 |
| ·数值计算和结果讨论 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-66页 |
| 第五章 基片及类球体冗余缺陷粒子的复合光散射 | 第66-74页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·BV理论在基片上类球体模型中的应用 | 第66-70页 |
| ·类球体缺陷形态 | 第66-67页 |
| ·散射场求解 | 第67-70页 |
| ·数值计算和结果讨论 | 第70-73页 |
| ·dent类球体Fe和SiO_2粒子的结果分析 | 第70-72页 |
| ·Chebyshey类球体Fe和SiO_2粒子的结果分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 半空间时域有限差分方法 | 第74-87页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·时域有限差分法FDTD数值理论 | 第74-81页 |
| ·FDTD基本方程 | 第74-78页 |
| ·连接边界条件 | 第78-79页 |
| ·吸收边界 | 第79-81页 |
| ·半空间问题的连接边界 | 第81-84页 |
| ·半空间FDTD方法的近远场变换 | 第84-85页 |
| ·互易性定理 | 第84页 |
| ·互易性定理在近远场外推中的应用 | 第84-85页 |
| ·空间网格的选取 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第七章 基片与镶嵌或下方缺陷粒子的复合光散射 | 第87-106页 |
| ·基片与镶嵌缺陷粒子的复合光散射 | 第87-96页 |
| ·镶嵌于基片中的球体冗余缺陷粒子 | 第87-90页 |
| ·镶嵌于基片中的柱体冗余缺陷粒子 | 第90-93页 |
| ·镶嵌于基片中的回转椭球冗余缺陷粒子 | 第93-96页 |
| ·基片与下方一个缺陷粒子的复合光散射 | 第96-100页 |
| ·掩埋的球体粒子 | 第96-98页 |
| ·掩埋的回转椭球体粒子 | 第98-100页 |
| ·基片与下方多个缺陷粒子的复合光散射 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-106页 |
| 第八章 缺陷粒子在激光波束作用下的辐射力 | 第106-122页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·缺陷粒子的去除机理分析 | 第106-109页 |
| ·去除缺陷粒子的方式 | 第106-107页 |
| ·激光清洗机理介绍 | 第107-109页 |
| ·光镊辐射力理论研究 | 第109-116页 |
| ·光镊的基本原理 | 第109-111页 |
| ·激光波束作用下粒子受到的辐射力 | 第111-116页 |
| ·数值计算和结果讨论 | 第116-119页 |
| ·波束在轴入射 | 第116-118页 |
| ·波束离轴入射 | 第118-119页 |
| ·本章小结 | 第119-122页 |
| 结束语 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-138页 |
| 攻读博士学位期间的研究成果 | 第138页 |