| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 缓蚀剂概述与分类 | 第11-13页 |
| 1.3 咪唑啉类缓蚀剂的概述 | 第13-14页 |
| 1.4 咪唑啉类缓蚀剂的研究历史 | 第14页 |
| 1.5 咪唑啉类缓蚀剂的合成方法 | 第14-16页 |
| 1.6 缓蚀剂缓蚀机理的研究 | 第16-20页 |
| 1.6.1 缓蚀机理概述 | 第16页 |
| 1.6.2 无机缓蚀剂的缓蚀机理 | 第16-17页 |
| 1.6.3 有机缓蚀剂的缓蚀机理 | 第17-19页 |
| 1.6.4 缓蚀剂缓蚀机理的研究方法 | 第19-20页 |
| 1.7 量子化学计算简介 | 第20页 |
| 1.8 本课题研究主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 实验方法及表征 | 第21-42页 |
| 2.1 实验药品及仪器 | 第21-22页 |
| 2.2 分析方法 | 第22-23页 |
| 2.2.1 傅里叶变换红外光谱(FT-IR) | 第22页 |
| 2.2.2 紫外-可见光谱(UV-Vis) | 第22页 |
| 2.2.3 核磁共振(NMR)分析 | 第22页 |
| 2.2.4 元素分析 | 第22-23页 |
| 2.3 咪唑啉类缓蚀剂的合成 | 第23-25页 |
| 2.3.1 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)乙烷(PIM-2-IMP)的合成 | 第23-24页 |
| 2.3.2 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)丁烷(PIM-4-IMP)的合成 | 第24页 |
| 2.3.3 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)辛烷(PIM-8-IMP)的合成 | 第24-25页 |
| 2.4 合成条件的优化 | 第25-34页 |
| 2.4.1 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)乙烷的合成条件优化 | 第26-29页 |
| 2.4.2 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)丁烷的合成条件优化 | 第29-31页 |
| 2.4.3 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)辛烷的合成条件优化 | 第31-34页 |
| 2.5 产物的表征 | 第34-41页 |
| 2.5.1 溶解性测试 | 第34页 |
| 2.5.2 元素分析 | 第34-35页 |
| 2.5.3 核磁分析 | 第35-37页 |
| 2.5.4 红外分析 | 第37-39页 |
| 2.5.5 紫外分析 | 第39-41页 |
| 2.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 缓蚀剂缓蚀性能评价及吸附机理研究 | 第42-65页 |
| 3.1 失重实验法 | 第42-45页 |
| 3.1.1 失重实验法简介 | 第42-43页 |
| 3.1.2 失重实验步骤 | 第43页 |
| 3.1.3 失重实验结果与分析讨论 | 第43-45页 |
| 3.2 动电位极化曲线实验法 | 第45-52页 |
| 3.2.1 动电位极化曲线实验法简介 | 第45-47页 |
| 3.2.2 实验步骤 | 第47页 |
| 3.2.3 不同缓蚀剂浓度的实验结果 | 第47-49页 |
| 3.2.4 不同温度条件下缓蚀剂的极化曲线 | 第49-52页 |
| 3.3 缓蚀剂缓蚀机理探讨 | 第52页 |
| 3.4 电化学交流阻抗谱法(EIS) | 第52-61页 |
| 3.3.1 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)乙烷(PIM-2-IMP)的阻抗谱图 | 第54-56页 |
| 3.3.2 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)丁烷(PIM-4-IMP)的阻抗谱图 | 第56-59页 |
| 3.3.3 氯化1,2-二(N-苯基-N-氨乙基咪唑啉)辛烷(PIM-8-IMP)的阻抗谱图 | 第59-61页 |
| 3.5 缓蚀剂的吸附机理 | 第61-64页 |
| 3.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 缓蚀剂分子的量子化学研究 | 第65-71页 |
| 4.1 最优分子模型 | 第65-67页 |
| 4.2 前线轨道计算 | 第67-69页 |
| 4.2.1 概述 | 第67页 |
| 4.2.2 计算结果 | 第67-69页 |
| 4.3 全局反应活性分析 | 第69-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
