| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第15-27页 |
| 1.1 课题概述 | 第15-18页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第15页 |
| 1.1.2 课题背景 | 第15-16页 |
| 1.1.3 论文研究意义 | 第16-18页 |
| 1.2 压电陶瓷驱动电源分类 | 第18-20页 |
| 1.2.1 电荷驱动型 | 第18页 |
| 1.2.2 电压驱动型 | 第18-19页 |
| 1.2.3 开环控制型压电陶瓷驱动电源 | 第19页 |
| 1.2.4 闭环控制型压电陶瓷驱动电源 | 第19-20页 |
| 1.3 压电陶瓷驱动电源的国内外研究现状 | 第20-22页 |
| 1.3.1 文献研究综述 | 第20-22页 |
| 1.3.2 国内外市场上的压电陶瓷驱动电源 | 第22页 |
| 1.3.3 发展趋势 | 第22页 |
| 1.4 论文研究目的 | 第22-23页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 1.6 本章小结 | 第25-27页 |
| 第2章 压电陶瓷驱动电源的整体设计 | 第27-37页 |
| 2.1 微纳定位平台 | 第27-29页 |
| 2.1.1 微纳定位平台的结构设计 | 第27-28页 |
| 2.1.2 微纳定位平台的测控系统设计 | 第28-29页 |
| 2.2 压电陶瓷驱动电源的设计原则及指标 | 第29-30页 |
| 2.2.1 可靠性原则 | 第29页 |
| 2.2.2 经济性原则 | 第29页 |
| 2.2.3 驱动电源的设计指标 | 第29-30页 |
| 2.3 压电陶瓷驱动电源的总体设计方案 | 第30页 |
| 2.4 机箱的设计 | 第30-36页 |
| 2.4.1 机箱的设计 | 第31页 |
| 2.4.2 机箱电磁屏蔽效能分析 | 第31-35页 |
| 2.4.3 实物加工 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动电源硬件电路的设计 | 第37-55页 |
| 3.1 线性放大电路 | 第37-42页 |
| 3.1.1 线性放大电路的设计 | 第37-40页 |
| 3.1.2 线性放大电路的仿真测试 | 第40-42页 |
| 3.1.3 PCB的设计 | 第42页 |
| 3.2 电压跟随器 | 第42-43页 |
| 3.3 低通滤波器 | 第43-45页 |
| 3.3.1 参数选取 | 第44页 |
| 3.3.2 滤波器的设计 | 第44-45页 |
| 3.4 线性稳压电源的设计 | 第45-49页 |
| 3.4.1 精密5V电压源的设计 | 第45-46页 |
| 3.4.2 正负15V电压的设计 | 第46-49页 |
| 3.5 正200V开关电源的设计 | 第49-53页 |
| 3.5.1 EMI滤波器 | 第49-50页 |
| 3.5.2 开关电源的拓扑结构 | 第50-52页 |
| 3.5.3 开关电源的设计 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-55页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动电源控制系统设计 | 第55-85页 |
| 4.1 信号发生器的设计 | 第55-58页 |
| 4.1.1 硬件连接 | 第55-57页 |
| 4.1.2 软件实现 | 第57-58页 |
| 4.2 信号采集系统设计 | 第58-59页 |
| 4.2.1 A/D转换设计 | 第58-59页 |
| 4.2.2 A/D与D/A联合实验 | 第59页 |
| 4.3 上位机软件的设计 | 第59-65页 |
| 4.3.1 上位机的界面设计 | 第59-61页 |
| 4.3.2 上位机和DSP的通信 | 第61-65页 |
| 4.3.3 实验测试 | 第65页 |
| 4.4 触摸屏 | 第65-69页 |
| 4.4.1 触摸屏控制器简介及工作原理 | 第65-66页 |
| 4.4.2 触摸屏的设计 | 第66-67页 |
| 4.4.3 触摸屏和DSP的通信 | 第67-69页 |
| 4.4.4 实验测试 | 第69页 |
| 4.5 微弱信号的处理 | 第69-76页 |
| 4.5.1 微弱信号处理概述 | 第69-70页 |
| 4.5.2 微弱信号处理方案 | 第70页 |
| 4.5.3 微弱信号的处理 | 第70-71页 |
| 4.5.4 仿真测试 | 第71-74页 |
| 4.5.5 实验测试 | 第74-76页 |
| 4.6 闭环控制算法 | 第76-79页 |
| 4.6.1 闭环控制算法程序的编写 | 第76-77页 |
| 4.6.2 闭环控制算法测试实验 | 第77-79页 |
| 4.7 压电陶瓷的非线性控制 | 第79-82页 |
| 4.7.1 经典Prandtl-Ishlinskii模型 | 第79-80页 |
| 4.7.2 改进的Prandtl-Ishlinskii模型 | 第80-81页 |
| 4.7.3 改进的Prandtl-Ishlinskii逆模型 | 第81页 |
| 4.7.4 仿真测试 | 第81-82页 |
| 4.8 本章小结 | 第82-85页 |
| 第5章 实验测试 | 第85-95页 |
| 5.1 压电陶瓷驱动电源性能实验 | 第85-91页 |
| 5.1.1 多通道性能实验 | 第85页 |
| 5.1.2 空载实验 | 第85-87页 |
| 5.1.3 压电陶瓷驱动电源带载实验 | 第87-88页 |
| 5.1.4 压电陶瓷非线性控制实验 | 第88-91页 |
| 5.2 面向微动平台测控系统的驱动电源性能测试 | 第91-93页 |
| 5.3 本章小结 | 第93-95页 |
| 第6章 结论与展望 | 第95-99页 |
| 6.1 结论 | 第95-96页 |
| 6.2 展望 | 第96-97页 |
| 6.3 创新点 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-103页 |
| 致谢 | 第103-105页 |
| 附录 | 第105页 |
| A. 攻读硕士期间发表的论文 | 第105页 |
| B. 获批的软件著作权 | 第105页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第105页 |
| D. 作者在攻读硕士学位期间获得的荣誉 | 第105页 |
