基于锁相调制技术的电容式微机械陀螺工艺实现及检测系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 微机械陀螺介绍 | 第10-18页 |
| 1.1.1 微机械陀螺发展历程及分类 | 第10-16页 |
| 1.1.2 微机械陀螺关键性能指标及应用 | 第16-18页 |
| 1.2 微机械陀螺控制系统研究现状 | 第18-24页 |
| 1.2.1 国外控制系统研究现状 | 第18-21页 |
| 1.2.2 国内控制系统研究现状 | 第21-23页 |
| 1.2.3 控制系统研究现状总结 | 第23-24页 |
| 1.3 论文主要研究内容及结构安排 | 第24-26页 |
| 第二章 微机械陀螺理论分析 | 第26-38页 |
| 2.1 微机械陀螺工作原理 | 第26-30页 |
| 2.1.1 科氏(Coriolis)效应 | 第26-27页 |
| 2.1.2 微机械振动陀螺动力学基础 | 第27-30页 |
| 2.2 微机械陀螺驱动检测模态分析 | 第30-34页 |
| 2.2.1 静电驱动原理 | 第30-33页 |
| 2.2.2 电容检测原理 | 第33-34页 |
| 2.3 微机械陀螺结构模型 | 第34-37页 |
| 2.3.1 微机械陀螺结构 | 第34-35页 |
| 2.3.2 微机械陀螺系统级模型 | 第35-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 微机械陀螺制备工艺研究 | 第38-62页 |
| 3.1 真空封装陀螺制备方案设计 | 第38-40页 |
| 3.1.1 制备方案主要问题讨论 | 第38-39页 |
| 3.1.2 陀螺整体工艺路线 | 第39-40页 |
| 3.2 湿法腐蚀方案工艺流程总结 | 第40-59页 |
| 3.2.1 玻璃腐蚀工艺 | 第41-45页 |
| 3.2.2 第一次阳极键合 | 第45-46页 |
| 3.2.3 SOG组合片湿法腐蚀减薄 | 第46-48页 |
| 3.2.4 硅面化学机械抛光 | 第48-53页 |
| 3.2.5 ICP刻蚀 | 第53-57页 |
| 3.2.6 三层阳极键合工艺 | 第57-58页 |
| 3.2.7 孔内金属化 | 第58-59页 |
| 3.3 本章小结 | 第59-62页 |
| 第四章 陀螺控制环路理论分析及仿真验证 | 第62-82页 |
| 4.1 闭环驱动控制技术分析 | 第62-69页 |
| 4.1.1 闭环驱动控制理论分析 | 第62-66页 |
| 4.1.2 AGC-PLL环路仿真优化 | 第66-69页 |
| 4.2 力再平衡闭环检测环路分析 | 第69-74页 |
| 4.2.1 力再平衡闭环检测控制 | 第69-73页 |
| 4.2.2 力再平衡闭环检测仿真验证 | 第73-74页 |
| 4.3 模态匹配控制技术分析 | 第74-77页 |
| 4.3.1 模态匹配控制理论分析 | 第74-76页 |
| 4.3.2 模态匹配仿真验证 | 第76-77页 |
| 4.4 高频载波信号调制 | 第77-80页 |
| 4.5 本章小结 | 第80-82页 |
| 第五章 微机械陀螺测试及数据分析 | 第82-98页 |
| 5.1 陀螺控制系统开发环境 | 第82-85页 |
| 5.1.1 HF2LI锁相放大器功能及原理 | 第82-84页 |
| 5.1.2 HF2TA电流放大器 | 第84-85页 |
| 5.2 闭环驱动系统搭建及测试 | 第85-90页 |
| 5.2.1 基于HF2LI的闭环驱动系统搭建 | 第85-86页 |
| 5.2.2 闭环驱动系统测试 | 第86-90页 |
| 5.3 检测模态系统搭建及测试 | 第90-93页 |
| 5.3.1 开环检测系统 | 第90-92页 |
| 5.3.2 力再平衡闭环检测模态 | 第92-93页 |
| 5.4 载波调制 | 第93-94页 |
| 5.5 陀螺主要性能指标测试 | 第94-96页 |
| 5.5.1 标度因数(灵敏度)测试 | 第94-95页 |
| 5.5.2 零偏稳定性测试 | 第95页 |
| 5.5.3 温度零偏稳定性测试 | 第95-96页 |
| 5.6 本章小结 | 第96-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-100页 |
| 6.1 全文总结 | 第98-99页 |
| 6.2 展望 | 第99-100页 |
| 致谢 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-108页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果 | 第108页 |
