| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.1 石英各向异性湿法刻蚀研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 晶体各向异性刻蚀预测方法 | 第13-15页 |
| 1.3 论文研究目的与架构 | 第15-18页 |
| 1.3.1 论文研究目的 | 第15-16页 |
| 1.3.2 论文组织架构 | 第16-18页 |
| 第二章 石英湿法刻蚀基础及速率变化特征 | 第18-27页 |
| 2.1 石英晶体与特性 | 第18-23页 |
| 2.1.1 石英晶体结构 | 第18-20页 |
| 2.1.2 石英晶面表示 | 第20-21页 |
| 2.1.3 石英湿法刻蚀机理 | 第21-23页 |
| 2.2 石英半球湿法刻蚀 | 第23-26页 |
| 2.2.1 石英半球实验 | 第23-24页 |
| 2.2.2 石英晶面速率变化特征 | 第24-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 石英不同晶面刻蚀轮廓标定 | 第27-49页 |
| 3.1 石英晶片湿法刻蚀实验 | 第27-30页 |
| 3.1.1 掩膜设计 | 第27-28页 |
| 3.1.2 试验流程 | 第28-30页 |
| 3.2 矩形凹槽数据汇总 | 第30-33页 |
| 3.3 正向曲率极大值法 | 第33-38页 |
| 3.4 Z-cut晶片湿法刻蚀形貌标定 | 第38-41页 |
| 3.5 AT-cut、BT-cut切向晶面湿法刻蚀形貌标定 | 第41-46页 |
| 3.5.1 石英球旋转 | 第41-42页 |
| 3.5.2 AT-cut、BT-cut湿法刻蚀形貌计算 | 第42-46页 |
| 3.6 不同衬底刻蚀特征晶面间的关系 | 第46-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 石英微结构刻蚀及复杂结构面识别 | 第49-61页 |
| 4.1 石英复杂结构掩膜设计 | 第49页 |
| 4.2 凹腔体特征晶面分布规律 | 第49-55页 |
| 4.2.1 Z-cut凹腔体特征晶面分析 | 第49-51页 |
| 4.2.2 AT-cut、BT-cut凹腔体分析 | 第51-55页 |
| 4.3 凸台特征晶面分布规律 | 第55-60页 |
| 4.3.1 Z-cut凸台分析 | 第55-57页 |
| 4.3.2 AT-cut、BT-cut凸台分析 | 第57-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 刻蚀速率各向异性微观机制 | 第61-70页 |
| 5.1 不同刻蚀环境下轮廓计算 | 第61-64页 |
| 5.2 石英晶面刻蚀各向异性比较 | 第64-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 主要工作 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 作者简介 | 第76页 |