| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第18-31页 |
| 1.1 引言 | 第18页 |
| 1.2 压电马达的分类及发展历程 | 第18-27页 |
| 1.2.1 压电超声马达及其发展历程 | 第19-23页 |
| 1.2.2 惯性式压电马达 | 第23-25页 |
| 1.2.3 尺蠖式压电马达 | 第25-27页 |
| 1.3 国内发展现状 | 第27-28页 |
| 1.4 国外发展现状 | 第28-29页 |
| 1.5 本文的研究内容 | 第29-31页 |
| 第二章 压电陶瓷的特性 | 第31-37页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 压电材料的基本特性 | 第31-34页 |
| 2.2.1 压电材料的介电特性 | 第31-32页 |
| 2.2.2 压电材料的弹性 | 第32页 |
| 2.2.3 压电效应 | 第32-33页 |
| 2.2.4 压电方程 | 第33-34页 |
| 2.3 压电材料的几个重要参数 | 第34-35页 |
| 2.3.1 机电耦合系数 | 第34页 |
| 2.3.2 频率常数 | 第34-35页 |
| 2.3.3 温度稳定性和居里点 | 第35页 |
| 2.4 压电陶瓷的选择 | 第35-36页 |
| 2.5 本章总结 | 第36-37页 |
| 第三章 分离式弯-弯复合压电马达驱动原理 | 第37-47页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 谐振型电马达和非谐振型压电马达性能对比 | 第37-38页 |
| 3.3 分离式弯-弯复合压电马达的驱动原理 | 第38-45页 |
| 3.3.1 纵-纵复合压电马达原理 | 第38-41页 |
| 3.3.2 分离式正弦驱动弯-弯复合压电马达原理 | 第41-43页 |
| 3.3.3 分离式合成方波驱动弯-弯复合压电马达原理 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 分离式弯-弯复合压电马达的结构设计 | 第47-65页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 整体结构设计 | 第47-48页 |
| 4.3 定子的设计 | 第48-50页 |
| 4.4 B组振子的设计 | 第50-58页 |
| 4.4.1 厚度c1对频率比的影响 | 第52-53页 |
| 4.4.2 宽度a1对频率比的影响 | 第53页 |
| 4.4.3 两端宽度a2对频率比的影响 | 第53-54页 |
| 4.4.4 中间部位长度对频率比的影响 | 第54-56页 |
| 4.4.5 中间减薄对频率比的影响 | 第56页 |
| 4.4.6 两边减薄对频率比的影响 | 第56-57页 |
| 4.4.7 最终设计 | 第57-58页 |
| 4.5 马达运动性能理论分析 | 第58-59页 |
| 4.6 改良型压电马达的结构设计 | 第59-60页 |
| 4.7 改良型定子和动子结构的设计 | 第60-61页 |
| 4.8 降低振子精度要求的研究 | 第61-63页 |
| 4.8.1 仅改变悬臂梁夹持位置 | 第61-62页 |
| 4.8.2 改变悬臂梁夹持位置与压电陶瓷尺寸 | 第62-63页 |
| 4.8.3 改变悬臂梁夹持位置与压电陶瓷粘贴位置 | 第63页 |
| 4.9 本章小结 | 第63-65页 |
| 第五章 频率比匹配实验及改良型压电马达的性能测试 | 第65-80页 |
| 5.1 频率比的匹配 | 第65-71页 |
| 5.1.1 定子初始特征频率的测试 | 第65-66页 |
| 5.1.2 仅改变悬臂梁夹持位置 | 第66-67页 |
| 5.1.3 改变悬臂梁夹持位置与压电陶瓷尺寸 | 第67-68页 |
| 5.1.4 动子频率匹配 | 第68-69页 |
| 5.1.5 波形测试 | 第69-71页 |
| 5.2 运动特性的测试 | 第71-78页 |
| 5.2.1 正弦波驱动的负载运动特性 | 第74-75页 |
| 5.2.2 合成方波驱动的运动特性 | 第75-77页 |
| 5.2.3 负载特性对比 | 第77-78页 |
| 5.2.4 正弦波驱动和方波驱动的效率对比 | 第78页 |
| 5.3 本章小结 | 第78-80页 |
| 第六章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 总结 | 第80-81页 |
| 6.2 展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第87页 |