| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 本课题研究背景 | 第8页 |
| 1.2 平面度量传体系及平面度计量器具 | 第8-12页 |
| 1.2.1 平面度量传体系的概念及建立 | 第8-9页 |
| 1.2.2 平面度计量器具 | 第9-12页 |
| 1.3 基于光干涉法检定平面度研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3.1 等倾干涉法 | 第12-14页 |
| 1.3.2 等厚干涉法 | 第14-15页 |
| 1.3.3 相移干涉法 | 第15-17页 |
| 1.4 研究内容及预期目标 | 第17-19页 |
| 2 平面度基准的建立及其传递途径 | 第19-35页 |
| 2.1 平面度定义及其指标体系 | 第19-21页 |
| 2.2 平面度的绝对检验与基准的建立 | 第21-25页 |
| 2.2.1 传统三面互检法 | 第21-23页 |
| 2.2.2 多面互检下的基准建立 | 第23-24页 |
| 2.2.3 旋转下的全面域检测技术发展 | 第24-25页 |
| 2.3 平面度的量值传递体系 | 第25-29页 |
| 2.3.1 面向不同行业需求的传递途径 | 第25-27页 |
| 2.3.2 以点控线与以线控面 | 第27-28页 |
| 2.3.3 相移干涉仪在传递中的重要地位 | 第28-29页 |
| 2.4 研磨面平尺检定算法研究 | 第29-33页 |
| 2.4.1 国家计量检定规程检测算法研究 | 第29-31页 |
| 2.4.2 光学平面掠入射测量算法研究 | 第31-32页 |
| 2.4.3 子孔径拼接算法研究 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小节 | 第33-35页 |
| 3 基于相移干涉仪的平面度量值传递与数字指标提取分析 | 第35-54页 |
| 3.1 相移干涉仪的测量方法与特点 | 第35-36页 |
| 3.2 相移干涉仪计量化改造方案设计 | 第36-38页 |
| 3.2.1 环境部分改造 | 第36-37页 |
| 3.2.2 硬件部分选择及设计 | 第37-38页 |
| 3.3 基于相移干涉仪平晶计量软件设计 | 第38-42页 |
| 3.3.1 系统需求分析 | 第38-39页 |
| 3.3.2 系统性约束 | 第39页 |
| 3.3.3 软件总体设计 | 第39-42页 |
| 3.4 平晶计量软件的模块化设计与实现 | 第42-52页 |
| 3.4.1 软件模块化设计 | 第42-44页 |
| 3.4.2 软件各子模块实现 | 第44-49页 |
| 3.4.3 软件使用效果 | 第49-52页 |
| 3.5 本章小节 | 第52-54页 |
| 4 实验验证与数据分析 | 第54-69页 |
| 4.1 标准圆平晶绝对检验实验 | 第54-58页 |
| 4.1.1 绝对检验结果 | 第54-57页 |
| 4.1.2 与等倾干涉仪检定结果的比对 | 第57-58页 |
| 4.2 研磨面平尺量值传递结果分析 | 第58-68页 |
| 4.2.1 子孔径拼接实验 | 第59-62页 |
| 4.2.2 掠入射检测实验 | 第62-65页 |
| 4.2.3 相移干涉仪下的测量不确定度分析 | 第65-68页 |
| 4.3 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 总结与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 总结 | 第69页 |
| 5.2 对未来的展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75-76页 |