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氮化镓纳米线空间电荷层及电学性能研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 前言第11-33页
    1.1 原位透射电镜技术及其发展第11-13页
    1.2 GaN纳米材料第13-15页
    1.3 原位电镜研究纳米材料的优势与现状第15-20页
    1.4 纳米线原位电学及力学研究的意义第20-21页
    1.5 GaN器件的应用第21-28页
        1.5.1 LED第21-25页
        1.5.2 光探测器第25页
        1.5.3 气体传感器第25-26页
        1.5.4 高效能太阳能电池第26-27页
        1.5.5 GaN场效应晶体管第27页
        1.5.6 GaN纳米线的压电效应第27-28页
    1.6 半导体空间电荷层第28-29页
        1.6.1 空间电荷层的基本特性第28-29页
    1.7 空间电荷层的测量方法第29-31页
        1.7.1 电容测量法第29-30页
        1.7.2 电容-电压(C-V)法第30页
        1.7.3 光声信号谱(PA)法第30-31页
        1.7.4 光电流(PC)法第31页
    1.8 本论文的研究意义及内容第31-33页
第二章 离轴电子全息的基本原理和主要实验设备第33-52页
    2.1 引言第33-35页
    2.2 电子全息的基本成像原理及应用第35-40页
        2.2.1 场发射枪第37页
        2.2.2 双棱镜第37-40页
    2.3 离轴电子全息的图像采集第40-44页
        2.3.1 电子全息图的重构第40-43页
        2.3.2 相位重构中需注意的问题第43页
        2.3.3 系统的畸变与参考全息图第43-44页
    2.4 离轴电子全息的应用第44-49页
        2.4.1 平均内电势的测定第44-45页
        2.4.2 电场分布的测定第45-46页
        2.4.3 界面电荷的测定第46-47页
        2.4.4 电荷分布的测定第47-48页
        2.4.5 磁畴的观察与测定第48-49页
    2.5 电子全息样品的制备第49-50页
    2.6 纳米针尖的制备第50-51页
    2.7 原位透射电镜电学测试样品台第51-52页
第三章 GaN纳米线的微结构表征第52-62页
    3.1 纳米线制备第52-54页
    3.2 GaN纳米线的扫描图第54-57页
    3.3 无缺陷GaN微结构第57页
    3.4 缺陷态的GaN微结构第57-61页
        3.4.1 层错第57-59页
        3.4.2 孪晶第59-61页
    3.5 本章小结第61-62页
第四章 GaN纳米线空间电荷层随偏压及应力变化的分布研究第62-89页
    4.1 引言第62-64页
    4.2 实验方法第64-66页
    4.3 偏压对GaN纳米线空间电荷层分布的影响研究第66-75页
        4.3.1 无偏压下GaN的空间电荷层第66-70页
        4.3.2 偏压作用下的空间电荷层第70-73页
        4.3.3 提取载流子浓度第73-75页
    4.4 应变对空间电荷层的影响研究第75-80页
        4.4.1 纳米线处于无应变的空间电荷层第75-77页
        4.4.2 纳米线处于应变下的空间电荷层第77-80页
    4.5 运用原位应变手段控制纳米线表面电荷分布的研究第80-88页
        4.5.1 原始GaN纳米线周围的电势第81-83页
        4.5.2 应力状态下的电势分布第83-86页
        4.5.3 应力状态下GaN纳米线的能带交替第86-88页
    4.6 本章小结第88-89页
第五章 焦耳热效应、电击穿和应力对单根GaN纳米线电学性能的影响第89-103页
    5.1 引言第89页
    5.2 GaN纳米线I-V特征曲线的影响因素第89-102页
        5.2.1 焦耳热效应第89-93页
            5.2.1.1 层错对熔融的影响第92-93页
        5.2.2 电击穿第93-97页
            5.2.2.1 缺陷和纳米线直径对电击穿现象的影响第95-97页
        5.2.3 应力第97-102页
            5.2.3.1 应力对熔融后纳米线的影响第99-102页
    5.3 本章小结第102-103页
第六章 结论第103-104页
论文创新点第104-105页
参考文献第105-117页
攻读博士学位期间发表的学术论文第117-118页
致谢第118页

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